Способ изготовления миниатюрных керамических деталей Советский патент 1986 года по МПК C04B41/88 

Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может найти применение при изготовлении корпусов высокочастотных полупроводниковых диодов, опорных изоляторов, н.авесных конденсаторов и т.д., кроме того, оно может быть использовано в приборостроении, электротехнической и других отраслях промышленности.

Цель изобретения - увеличение производительности и повьшение выхода годных миниатюрных цилиндрических деталей с металлизированными торцевыми поверхностями.

На чертеже (а-з) представлена технологическая схема предлагаемого способа.

Пример. Изготовляют мини- .атюрные кварцевые втулки размером 00,,4x0,2 мм с металлизированной (хром 0,05 мкм, никель 0,5 мкм золото 2-3 мкм) торцевой поверхностью .

В стеклянную трубку 1 0нар

8-10 мм, f 70-100 мм плотно набивают кварцевые капилляры 2 с ,8 мм и аиутр ОЛ мм Са). Цилиндрические поверхности капилляров покрьгоают слоем термостойкого лака 3, например фоторезистом ФП-ЗВЗ, для чего трубку с капиллярами опускают в сосуд с фоторезистом. Под действием капиллярных сил трубка заполняется. Избыток фоторезиста удаляют продувкой сжатым воздухом. Производят сушку и задубли- вание фоторезиста при 80 и 120 С соответственно (б).

После сушки и задубливания пленки фоторезиста каналы капилляров и полости между ними заполняют связу2178582

ющим веществом 4 (в), в качестве которого используют наклеечную мастику, состоящую из воска и канифоли. Затем трубку с капиллярами рег жут на диски 5 высотой 1-0,2 мм с припуском на шлифовку (г). После двухсторонней щлифовки дисков по высоте до заданного размера 0,2-0,02 мм (д) мастику удаляют растворением

fO в трихлорэтилене или бензине (е.

При этом пленка фоторезиста не растворяется и втулки не выпадают из охватывающего их кольца, так как пленка фоторезиста склеивает втулки

15 между собой. После химической очистки втулки в дисках помещают в установку вакуумного напыления и производят их очистку в тлеющем разряде, а затем напыление методом испаре20 ния подслоя хрома толщиной 400500 А и никеля толщиной 0,3-0,5 мкм (ж. После вакуумной металлизации втулки поступают на операцию демонтажа и удаления металлических покры25 тий с цилиндрических поверхностей. Для этого диски с втулками заливают диметилформамидом и производят ультразвуковую обработку в течение 15- 20 мин (3). При этом происходит ин

тенсивное растворение фоторезиста и взрьшное удаление металлического покрытия, нанесенного на него при металлизации.

Соединения втулок, изготовленных предлагаемым способом, с металлами, например с медью,- полученные термокомпрессией - вакуумноплотные, имеют механическую прочность 4,5- 5,0 кгс/мм при испытании на отрьш.

Предлагаемьш способ позволит увеличить выход годной продукции с 30 до 50%.

HaSuSKu капилляров i труЬку

/Занесение терно- cmouKOio /iqna на BOKoSne пооерхнос /пи капи/мяроо

Заполнение трубки

с6язчюш,ин StinecmSoH

Резка трдбки на диски

ШлифоВка диенов по Sttcome

Удаление

обязующего

6etnecm8a

Напыление покрытия хрон- никель S 8аку1/не

Растборенив термостойкого /гака, демонтаж бтдяок

внигаш Тираж 640

Заказ 1080/30 Подписное

Филиал ППП Патент, г.Ужгоооп. УЛ.Проектная, 4