Способ определения отклонений в периодических структурах Советский патент 1959 года по МПК G01B9/04 

Описание патента на изобретение SU122213A1

Известны визуальные способы определения отклонений в периодических структурах. Наблюдение и контроль в них ведется с помощью микроскопа. Основной недостаток подобных -способов заключается в малой точности, малой производительности и невозможности автоматизации контроля отклоненийВ предлагаемом способе указанные недостатки устранены тем, что подлежаш,ая контролю периодическая структура, например сетка лампы, пропускается между источником света и проектором. Увеличенное с помощью проектора изображение структуры проходит перед диафрагмой с двумя параллельными щелями. Изменение светового потока в щелях диафрагмы преобразуется в электрические импульсы, которые воздействуют на индикаторное устройство, позволяющее определить отклонение в периодических структурах. С целью повышения точности контроля в диафрагме можно сделать не две, а три щели.

Сущность предлагаемого способа поясняется чертежом, где изображена скелетная схема устройства по описываемому способу.

Периодическая структура, например спираль л- б. в. , продвигается между источником света 2 и проектором 5 с помощью механизма протягивания спирали 4. Увеличенное проектором изображение структуры проходит перед диафрагмой 5. Диафрагма имеет две щели, расположенные на расстоянии, равном изображению щага структуры минус половина изображения допуска шага структуры. Изменение светового потока в щелях диафрагмы вызывает периодическое изменение электрического сигнала на выходе преобразователей 5 и 7, в качестве которых могут использоваться фотоумножители. С преобразователей электрические сигналы подаются соответственно на блоки формирования импульсов 5 и 5.

Продифференцированные по переднему фронту импульсы 8 с блока формирования запускают блок 10, на выходе которого образуются импульсы с длительностью, соответствующей допуску шага. Эти импульсы

Похожие патенты SU122213A1

название год авторы номер документа
Кварцевый емкостный электронный дилатометр для образцов малых размеров 1959
  • Корнилов А.П.
  • Рабодзей Н.В.
  • Рукман Г.И.
  • Хрюкин В.С.
SU122899A1
Устройство для измерения неэлектрических величин электрическим способом 1956
  • Блинов И.И.
  • Корнилов А.П.
  • Логашин И.И.
  • Рукман Г.И.
  • Хрюкин В.С.
SU112438A1
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЙ СТРЕЛКОВЫЙ ТРЕНАЖЕР КОЛЛЕКТИВНОГО БОЯ 2002
  • Афанасьев А.Н.
  • Веркиенко Ю.В.
  • Загоровский В.И.
  • Казаков В.С.
  • Корнилов И.Г.
  • Пахарь В.К.
RU2211433C1
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВРЕМЯ-ИМПУЛЬСНЫЙ СПОСОБ 1971
SU295018A1
Двухпольная установка совмещения и экспонирования 1967
  • Корнилов А.П.
  • Моргунов А.С.
SU307697A1
Способ контроля линейных размеров периодических микроструктур 1978
  • Александров Владимир Кузьмич
  • Биенко Юрий Николаевич
  • Ильин Виктор Николаевич
SU765651A1
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ ГРАНИЦЫ ДЕТАЛИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ 1999
  • Леун Е.В.
  • Абдикаримов Н.Н.
  • Телешевский В.И.
  • Серебряков В.П.
  • Жирков А.О.
  • Загребельный В.Е.
RU2157963C1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЧНОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР, НАНОСИМЫХ НА ПРОЗРАЧНЫЙ НОСИТЕЛЬ 2003
  • Кирьянов В.П.
  • Кирьянов А.В.
RU2242715C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ПАРАМЕТРОВ ГРАНИЦЫ ОБЪЕКТА 2000
  • Леун Е.В.
  • Загребельный В.Е.
  • Телешевский В.И.
  • Серебряков В.П.
  • Жирков А.О.
  • Шулепов А.В.
RU2172470C1
Способ контроля линейных размеров микропроволоки 1990
  • Александров Владимир Кузьмич
  • Ильин Виктор Николаевич
SU1776986A1

Иллюстрации к изобретению SU 122 213 A1

Реферат патента 1959 года Способ определения отклонений в периодических структурах

Формула изобретения SU 122 213 A1

SU 122 213 A1

Авторы

Корнилов А.П.

Хрюкин В.С.

Даты

1959-01-01Публикация

1958-12-12Подача