Известны визуальные способы определения отклонений в периодических структурах. Наблюдение и контроль в них ведется с помощью микроскопа. Основной недостаток подобных -способов заключается в малой точности, малой производительности и невозможности автоматизации контроля отклоненийВ предлагаемом способе указанные недостатки устранены тем, что подлежаш,ая контролю периодическая структура, например сетка лампы, пропускается между источником света и проектором. Увеличенное с помощью проектора изображение структуры проходит перед диафрагмой с двумя параллельными щелями. Изменение светового потока в щелях диафрагмы преобразуется в электрические импульсы, которые воздействуют на индикаторное устройство, позволяющее определить отклонение в периодических структурах. С целью повышения точности контроля в диафрагме можно сделать не две, а три щели.
Сущность предлагаемого способа поясняется чертежом, где изображена скелетная схема устройства по описываемому способу.
Периодическая структура, например спираль л- б. в. , продвигается между источником света 2 и проектором 5 с помощью механизма протягивания спирали 4. Увеличенное проектором изображение структуры проходит перед диафрагмой 5. Диафрагма имеет две щели, расположенные на расстоянии, равном изображению щага структуры минус половина изображения допуска шага структуры. Изменение светового потока в щелях диафрагмы вызывает периодическое изменение электрического сигнала на выходе преобразователей 5 и 7, в качестве которых могут использоваться фотоумножители. С преобразователей электрические сигналы подаются соответственно на блоки формирования импульсов 5 и 5.
Продифференцированные по переднему фронту импульсы 8 с блока формирования запускают блок 10, на выходе которого образуются импульсы с длительностью, соответствующей допуску шага. Эти импульсы
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Кварцевый емкостный электронный дилатометр для образцов малых размеров | 1959 |
|
SU122899A1 |
Устройство для измерения неэлектрических величин электрическим способом | 1956 |
|
SU112438A1 |
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЙ СТРЕЛКОВЫЙ ТРЕНАЖЕР КОЛЛЕКТИВНОГО БОЯ | 2002 |
|
RU2211433C1 |
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВРЕМЯ-ИМПУЛЬСНЫЙ СПОСОБ | 1971 |
|
SU295018A1 |
Двухпольная установка совмещения и экспонирования | 1967 |
|
SU307697A1 |
Способ контроля линейных размеров периодических микроструктур | 1978 |
|
SU765651A1 |
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ ГРАНИЦЫ ДЕТАЛИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ | 1999 |
|
RU2157963C1 |
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЧНОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР, НАНОСИМЫХ НА ПРОЗРАЧНЫЙ НОСИТЕЛЬ | 2003 |
|
RU2242715C1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ПАРАМЕТРОВ ГРАНИЦЫ ОБЪЕКТА | 2000 |
|
RU2172470C1 |
Способ контроля линейных размеров микропроволоки | 1990 |
|
SU1776986A1 |
Авторы
Даты
1959-01-01—Публикация
1958-12-12—Подача