. При измерении концентрации и давления паров различных газообразных веществ применяют полупроводниковые датчики. Однако известные датчики подобного рода имеют сравнительно низкую чувствительность. В предлагаемом датчике для устранения указанного недостатка применяется в качестве чувствительного элемента пористая полупроводниковая пленка, например двуокись олова, нанесенная на основание из изоляционного материала, например фарфора. На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого датчика. Датчик 1 представляет собой фарфоровую пластинку с нанесенным на ее поверхность полупроводниковым слоем. Для нанесения полупроводниковой пленки на фарфоровое основание пластинка нагревается до температуры 750-800° С и обрабатывается спиртовым раствором хлорного олова, который содержит 8 вес. ч. спирта, 10 вес. ч. хлорного олова и 2,5 вес. ч. восстановителя (формалина). Возникающая при гидролизе двуокись олова частично восстанавливается до моноокиси, которая при температуре выше 400°, диссоциируется на двуокись и металл. При быстром темпе охлаждения на поверхности фарфоровой пластинки создается пористая полупроводниковая пленка, состоящая в основном из двуокиси олова, в структуре которой присутствуют проводящие примеси. Надежный контакт между пленкой и электродами осуществляется путем создания на пленке тонкого металлического слоя серебра методом вжигания. При этом используется паста следующего состава: 8 вес. ч. А§2СОз+ 1 вес. ч. канифоли- 4 вес. ч. скипидара. Приготовленный таким образом датчик 1 помещают в сосуд 2, в котором измеряют давление, и подключают к прибору 3, измеряю. щему сопротивление цепи, например, к мегометру.
По изменению электропроводности слоя пористой полупроводниковой пленки, зависящей, от количества абсорбируемого газообразного вещества, судят о величине его давления.
При градуировке датчика в сосуд 2 устанавливают термопару 4, подключенную к гальванометру 5, и манометр 6.
Предмет изобретения
Полупроводниковый датчик концентрации (давления) паров, отличающийся тем, -что, с целью повышения его чувствительности, в нем в качестве чувствительного элемента применена пористая пленка, например двуокиси олова, нанесенная на основание из изоляционного материала, например фарфора.
