Колесо турбомолекулярного вакуумного насоса Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомо- лекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения - улучшение откач- ных характеристик колеса турбомолекуляр- ного вакуумного насоса.

На фиг.1 представлено колесо, общий вид; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1.

Колесо турбомолекулярного вакуумного насоса содержит диск 1 с лопатками 2, образующими межлопаточные каналы 3 и 4, которые в окружном направлении имеют поочередно постоянную и переменную щирину.

При работе насоса колесо устанавливается на валу турбомолекулярного насоса, образуя вместе с ним ротор. При вращении ротора молекулы откачиваемого газа взаимодействуют с боковыми стенками лопаток 2 и проходят по межлопаточным каналам как в направлении откачки, так и в обратном направлении. При этом величина потока мо

лекул в направлении откачки превыщает величину потока в обратном направлении, что обусловливает эффект откачки газа, причем соотношение этих потоков и их разность характеризуют степень сжатия и быстроту действия колеса как одной ступени Турбо- молекулярного вакуумного насоса, т. е. от- качные характеристики колеса. Быстрота действия и степень сжатия зависят от отношения ширины канала к его длине, причем с повышением этого соотношения степень сжатия уменьшается, а быстрота действия сначала растет, а затем падает, т. е. имеет место максимум быстроты действия при некотором отношении ширины канала к его длине. Поэтому применение в одном колесе каналов с переменной шириной, возрастающей по радиусу, и постоянной шириной позволяет получить большие значения быстроты действия и степени сжатия, т. е. улуч- щить откачные характеристики колеса.

/

Срс/г.2