Способ изготовления фольговых тензорезисторов Советский патент 1986 года по МПК G01B7/16 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления тензорезисторов с чувствительным элементом из фольги.

Цель изобретения - улучшение характеристик тензорезисторов и повышение эксплуатационных качеств.

Способ изготовления фольговых тензорезисторов осуплествляется следуюш,им образом.

На закрепленную на опорной рамке фольгу с помошью центрифуги наносят слой клея - 4 /о-ный раствор полиимида V-18 в хлороформе - и сушат при комнатной температуре 5-10 мин. На слой клея накладывают подложку из фенилона. К подложке прижимают тампон, пропитанный растворителем клея - хлороформом, и держат 1 -1,5 мин. После этого фольговую заготовку с присоединенной к ней подложкой заключают между двумя слоями фторопластовой пленки, накладывают с обеих сторон по слою термостойкой резины, помешают между двумя стальными полированными пластинами и с помощью зажимного устройства сдавливают пластины с усилием 12-

15 кг/cм. Зажимное устройство помеш,ают в термошкаф, нагревают со скоростью 1°С в минуту до 200°С, делают выдержку в течение двух часов и охлаждают вместе с термошкафом. После термообработки на заготовке фольги проводят операции фотолитографии и травления.

При этом поверхность подложки, обра- шенная к конструкции, остается непропитанная клеем и не затрудняется отвод летучих компонентов клея при наклейке. В результате создаются условия, обеспечиваю- ш.ие качественную наклейку тензорезисторов.

Формула изобретения

Способ изготовления фольговых тензоре- зисторОБ, заключаюшийся в том, что на фольгу наносят слой клея, подсушивают его и соединяют подложку с фольгой, отличающийся тем, что, с целью улучшения характеристик тензорезисторов и повышения эксплуатационных качеств, подложку после соединения с фольгой пропитывают растворителем клея.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления тензорезисторов с чувствительным элементом из фольги. Целью изобретения является улучшение характеристик тензорезисторов и повышение эксплуатационных качеств. На закрепленную на опорной рамке фольгу с помош.ью центрифуги наносят слой клея - 4%-ный раствор полиамида V-18 в хлороформе - и сушат при комнатной температуре 5-10 мин. На слой клея накладывают подложку из фенилона. К подложке прижимают тампон, пропитанный растворителем клея - хлороформом, и держат 1 -1,5 мин. Фольговую заготовку с подложкой заключают между двумя слоями фторопластовой пленки, накладывают с обеих сторон по слою термостойкой резины, помещают между пластинами и сдавливают пластины усилием 12-15 кг/см с помощью зажимного устройства. Осуществляют термообработку, затем проводят операции фотолитографии и травления. Поверхность подложки, обращенная к конструкции, остается непропитанной клеем, и не затрудняется отвод летучих компонентов клея при наклейке, что обеспечивает качественную наклейку тензорезисторов. § (Л ю N:) со о ГчЭ