Способ изготовления фольговых тензорезисторов Советский патент 1982 года по МПК G01N1/28 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к технике тензометрических измерений.

Известен способ,изготовления тензорезисторов, заключак)щийся в формировании подложки из клея в жидкой фазе непосредственно на фольге путем нанесения его с помощью фильеры, валика или кистью с последующей сушкой на воздухе и термообработкой в термостате, затем покрывают другую сторону фольги фоторезистом, производят фотолитографию и травление 1.

Однако этому способу присущие скручивание пакета из-за .большой разницы в коэффициентах линейного расширения фольги и клея, поэтому заготовки фольги необходимо закреплять на специальных сетках, на которых они проходят термообработку и последующие операции, что снижает производительность труда.

Наиболее близким к изобретения по технической сущности является способ изготовления фольговых тензорезисторов заключающийся в том, что последовательно производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой подсушенного клея присоединяют подложку, термообрабатывают и травят 2.

Недостатком этого способа является малая производительность труда из-за длительности процесса сушки и термообработки, требующего длительной вьщержки пакета заготовок тензоре зисторов под прижимом.

Цель изобретения - повышение про10изводительности и улучшение метрологических характеристик.

Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления фольговых тензорезисторов, заключеиощемся в том,

15 что производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой клея присоединяют подложку, травят и термообрабатывают, присоединение подложки к фольге и

20 травление производят при жидкой фазе клея, а затем термообрабатывают.

Способ осуществляется следующим образом.

Фольгу для очистки пропускают

25 через ряд ванн, сматывая с рулона, затем в процессе перемотки наносят на поверхность Фольги фоторезист, например, вытягивая из раствора, осуществляют копирование дискретным мето30дом, сохраняя целостность фольги. проводят в непрерывном режиме проявление и дубление. Далее, также в непрерывном режиме, производят прикатку фольги к жидкому клею, нанесенном на подложку, и травят.После травле ния, когда эначй тельная часть фольги удалена и открыт доступ к выходу растворителя, осуществляют термообработку. Присоединение подложки к фольге в ходе выполнения операции травления, осуществляемое за счет сил сцепления жидкого клея, приводит к качественно новому эффекту - возможности осущест вления непрерывного технологического процесса,в котором вспомогательное время практически отсутствует. Это позволяет в несколько раз повысить производительность и сократить количество специального оборудования и одновременно улучшить метрологические характеристики типоразмеров. Формула игобретения Способ изготивльжия фольговых тензоре эисторов, заключающийся в том, что производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой клея присоединяют подложку, травят и термообрабатывают, о тл и ч ающийс я тем, что, с целью повыпения производительности и улучшения метрологических характеристик, присоединение подложки к фольге и травление производят при жидкой фазе клея, а затем термообрабатывают. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Технологический процесс изготовления фольговых тензорезисторов НИКИМП. 1967, с. 33-48. 2.Авторское свидетельство СССР . 316922, кл. G 01 В 7/18, 1971 (прототип).

:

. ,|.