Преобразователь влажности газов Советский патент 1986 года по МПК G01N27/22 

1

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к емкостным измерительным преобразователям состава газовой среды, и предназначено для отраслей производства, в которых необходимо вести контроль влажности газовых сред.

Цель изобретения - повышение стабильности работы преобразователя и уменьшение его инерционности.

На фиг. 1 представлен преобразователь, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

На изолирующей подложке 1, напри- мер, из кварцевого стекла расположен нижний металлический электрод 2 в виде решетки. Электрод закрыт сверху плотным слоем диэлектрика 3, например, в виде окислов SiOj , , SigN4 или в виде чередующихся плотных слоев из этих материалов. Внешняя поверхность этого диэлектрика покрыта металлическим слоем, образующим верхний электрод 4, форма которого в точности повторяет форму нижнего электрода, а элементы верхнего электрода находятся над аналогичными элементами нижнего электрода. Участки между соседними элементами одноимен- : ньпс электродов заполнены диэлектриком 5 с пористой структурой, например в виде полученных при соответст- вующем технологическом режиме пористых окислов SiO, AljOg или их соче- танки. Участки электрода, предназначенные для выводов 6, свободны от диэлектрика.

0

0

31

5

5 : 5

5

0

172

Преобразователь работает следующим образом.

При помещении преобразователя в контролируемую среду молекулы воды проникают диффузионным путем в межэлектродную область с пористым диэлектриком и влияют на диэлектрическую проницаемость и удельную электропроводность этой области. Изменение влажности контролируемой среды вызывает изменение емкости и проводимости между верхней и нижней решетками электродов. По изменению этих электрических параметров и судят о влажности контролируемой среды. На участках диэлектрика с плотной структурой емкость и проводимость практи- чески не изменяются и входят как постоянная составляющая в сигнал.

Формула изобретения

Преобразователь влажности газов, содержащий изолирующую подложку, на которой расположены решетка нижнего электрода, влагочувствительная пленка из пористого диэлектрика и решетка верхнего электрода, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности работы преобразователя и уменьшения инерционности, н№кний электрод выполнен в форме, повторяющей форму верхнего электрода, причем элементы решетки нижнего электрода расположены под соответствующими, элементами решетки верхнего электрода и разделены диэлект- Риком с монолитной структурой.

4. 5-.

tpvt.f

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля газовых сред. Преобразователь влажности содержит изолирующую подложку с размещенными на ней решеткой нижнего электрода, влагочувствительной пленкой из пористого диэлектрика и верхним электродом. Для повьппения стабильности работы нижний электрод вьтолнен в форме, повторяющей форму верхнего электрода, причем элементы решетки нижнего электрода расположены под соответствующими элементами решетки верхнего электрода и разделены диэлектриком с монолитной структурой. 2 ид. i (Я vl

Составитель С. Постнов Редактор И. Бобкова Техред В.Кадар . Корректор М. Демчик

Заказ 1705/46 ,

Тираж 778

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Подписное