Пленочный болометрический элемент для измерения мощности сверхвысокочастотных колебаний Советский патент 1959 года по МПК H01F41/06 H01F41/04 

В известных пленочных болометрах для измерения мощности СВЧ применяются металлические слои, являющиеся согласующими элементами, в которых происходит поглощение мощности СЕЧ, и одновременно термочувствительными элементами. Основным недостатком таких систем является низкая чувствительность.

У предлагаемого болометра чувствительность повышена. Болометр выполнен в виде пластины диэлектрика, с одной стороны которого нанесен слой металла, обладающий больщой стабильностью сопротивления, а с другой стороны нанесен слой полупроводника с больщим ТКС.

На пластину диэлектрика / (см. чертеж) наносится с одной стороны ТОНКИЙ металлический слой .2, а с другой стороны-полупроводниковый слой 3. На металлический слой наносятся металлические контактные слои 4, а на полупроводниковый слой-металлические контактные полоски 5.

Принцип действия болометра заключается в следующем: металлическая пленка, сопротивление которой согласовано с волноводом, поглощает энергию СВЧ и нагревается; нагрев металлической пленки вызывает нагрев подложки и полупроводникового слоя, что вызывает изменение сопротивления полупроводникового слоя; это изменение сопротивления измеряется, например, с помощью моста. Измерение мощности может производиться методом замещения мощности СВЧ мощностью постоянного тока. Таким образом, болометр обладает высокой чувствительностью при сохранении хорощего согласования с волноводным трактом на различных уровнях мощности.

П IP е дм ет изобретения

Пленочный болометрический элемент для измерения мощности сверхвысокочастотных колебаний, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, OF выполнен в виде диэлектрической пластины, одна из сторо« которой покрыта металлической пленкой, а другая-полупроводниковым слоем.