Пленочный измеритель мощности СВЧ Советский патент 1959 года по МПК G01R21/12 

Известные датчики измерителей мощност СВЧ обладают рядом недостатков. Например, проволочные болометры трудно согласовать с волноводным трактом в достаточно широкой полосе частот, и, кроме того, о}ш обладают низкой чувствительностью и критичны к перегрузкам; металлонленочные болометры обладают низкой чувствительностью; тер.мисторы, как известно, не позволяют получить высокого к.п.д. при измерении мощности в миллиметровом диапазоне длин волн и не выдерживают больших мощностей.

Предлагаемый пленочный датчик для измерения моидности СБЧ лишен указанных недостатков. Пленочный датчик для измерення мощности СВЧ устроен следующим образом {см. чертеж). На изолирующую пластинку / с одной стороны наносится пленочная термопара 2 из полупроводниковых материалов; с другой стороны изолирующей пластинки наносится тонкая металлическая пленка 5; на концах пластины с одной стороны нанесены контактные металлические полоски 4 для нодключения в измерительную цепь металлической пленки, а с противоположной стороны нанесены контактные металлические полоски 5 для подключения в измерительную цепь термопары. Для изготовления пленок применяется метод испарения в вакууме. Измерения с помощью предлагаемого элемента молсно производить методом замещения измеряемой мощности известной мощностью постоянного тока аналогично измерениям с помощью пленочных болометров.

Предмет изобретения

Пленочный датчик измерителя мощности СВЧ, использующий термопару, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности устройства, он выполнен в виде двухпленочного элемента, одна из пленок которого (металлическая), поглощающая энергию СВЧ, служит подогревателем, а другая, разделенная с ней слоем диэлектрика, предстаг ляет собой пленочную термопару. .