ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПЛЕНОЧНЫЙ БОЛОМЕТР Советский патент 1968 года по МПК G01K7/34 

Известны диэлектрические пленочные болометры, выполненные в Биде конденсатора, термочувствительным слоем которого является органический диэлектрик.

Однако эти болометры не позволяют производить точные измерения величины малых уровней мощности падающего «а болометр оптического излучения.

Предлагаемый диэлектрический пленочный болометр позволяет существенно повысить точность измерений на малых уровнях мощности.

Это достигается путем подключения к выводам одной из обкладок конденсатора источника тока замещения, а к выводам другой - источника тока подогрева.

Описываемый болометр показан на чертеже.

Па поверхность пластинки 1 из изоляционного .материала, например из стекла или слюды, нанесена путем испарения в вакууме тонкая проводящая пленка 2 (например, нихромовая) толщиной 0,1 мк. Эта пленка служит одной из обкладок конденсатора и в то же время использована для поддержания необходимой температуры при работе болометра путем пропускания через нее электрического тока. Он .подводится к ней с помощью контактных пленок 3, например, из золота и выводных проводников 4 из тонкой серебряной

проволоки (0,1-0,2 мм), соединенных с поверхностью пластинки путем вжигания и служащих для присоединения болометра к внешней электрической цепи. Поверх этой проводящей пленки расположен термочувствительный слой 5 конденсатора (например, сегнетоэлектрик). Второй обкладкой конденсатора служит проводящая пленка 6 из того же материала, что и первая обкладка, и нанесенная

поверх термочувствительного слоя. Эта же проводящая пленка использована для присоединения к источнику тока замещения с по.мощью контактных пленок 7 и выводных проводников 8.

Пленка чернения 9 толщиной 1--5 мк служит для поглощения измеряемого излучения. Пзмерения с помощью предложенного боломегра производятся следующим образом. Пленочный конденсатор болометра включают в цень для измерения емкости. Кроме того, нроводящая пленка 2 подключена к источнику тока подогрева, а замещающая пленка 6 -к источнику тока замещения. Электрический ток, проходящий через пленку 2, нагревает ее и лежащие на ней слои. Величину тока подбирают такой, чтобы температура нагрева поддерживалась в области рабочей точки (в случае применения сегнетоэлектрика около точки Кюри).

чернения 9, нагревает все слои болометра, в том числе и термочувствительный .слой, вызывая соответствующее из енение величины емкости конденсатора. Затем получают равновеликое изменение величины емкости пропусканием тока за-мещения -по замещающей пленке 6 и определяют таким образом поток мощности падающего излучения по эквивалентной мощности нагрева пленки пропускаемым через нее током.

Так как для сегнетозлектриков в области точки Кюри диэлектричеокая проницаемость зависит от температуры, то достаточно незначительного повышения температуры, чтобы

вызвать резкое изменение величины емкости конденсатора, и чувствительность устройства соответственно может быть повышена.

Предмет изобретения

Диэлектрический пленочный болометр, содержащий конденсатор с диэлектриком иля сегнетоэлектриком и поглощающую пленку чернения, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерений, в нем к выводам одной обкладки конденсатора присоединен источник тока заадеП1,ения, а к выводам другой - источник тока подогрева.