| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ | 2003 |
|
RU2244984C1 |
| СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО КРЕМНИЯ ФОСФОРОМ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ P-N ПЕРЕХОДОВ | 2015 |
|
RU2612043C1 |
| СПОСОБ ПРЕДЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ГЕРМАНИЕВОЙ ПОДЛОЖКИ | 2013 |
|
RU2537743C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУР КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ | 2003 |
|
RU2265255C2 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕНСОРА ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ И СВЕТА | 2023 |
|
RU2820464C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОЛСТОПЛЕНОЧНОГО КОНТАКТА С ПОНИЖЕННЫМ ПЕРЕХОДНЫМ СОПРОТИВЛЕНИЕМ К КРЕМНИЕВЫМ СОЛНЕЧНЫМ ЭЛЕМЕНТАМ | 1998 |
|
RU2139600C1 |
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИН СЛОЕВ И GaAs и GaAlAs В МНОГОСЛОЙНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ | 1987 |
|
SU1544111A1 |
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ КМОП-СТРУКТУР С ПОЛИКРЕМНИЕВЫМ ЗАТВОРОМ | 1992 |
|
RU2038647C1 |
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ КМОП-СТРУКТУР С ПОЛИКРЕМНИЕВЫМ ЗАТВОРОМ | 1992 |
|
RU2056673C1 |
| СПОСОБ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПАССИВАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | 2014 |
|
RU2562991C2 |
Способ создания омических контактов к кремнию, включающий обработку кремниевой пластины с активными областями в растворе плавиковой кислоты и нанесение молибдена, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности контакта путем снижения контактного сопротивления, перед обработкой в плавиковой кислоте дополнительно проводят обработку в перекисно-аммиачном растворе, после чего пластину выдерживают 30-50 мин в вакууме от 4·10-3 до 1·10-4 Па при 220-350°С и повторно обрабатывают в перекисно-аммиачном растворе.
