Смазочно-охлаждающая жидкость для полирования керамики Советский патент 1986 года по МПК C10M173/00 C10M173/00 C10M129/16 C10M159/04 C10N30/06 C10N40/22 

1

Изобретение относится к смазочно- охлалодающим жидкостям (СОЖ),, применяемым при полировании керамики, в частности.при полировании алмазными пастами подложек из высокоглиноземи- стой керамики, используемых в качестве плат микросхем в электронной и ра диотехнической промышленности.

Целью изобретения является повышение смазочных свойств жидкости,

Для приготовления СОЖ использ-уют дизельное топливо марки ДС в качестве полиэтиленгликолевых эфиров олеиновой кислоты используют товарный продукт Олеокс 5 5 в качестве поли- этиленгликолевых эфиров стеариновой кислоты и высших жирных спиртов целесообразно использовать соответственно товарный продукт Стеарокс-6 и ОС-20о

Приготовление смазочно-охлаждающей жидкости производится следующим образом.

В емкость заливается необходимое количество дизельного топлива, добавляется расчетное количестЕю полиэтилен гликолевых. эфиров стеариновой и олеиновой жирных кислот и в течение нескольких минут (2-3) содержимое перемешивается при комнатной тем пературе. Затем вводится половина расчетного количества воды с раство ренным в ней полиэтиленгликолевьгм эфиром высших жирных спиртов и снова производится перемешивание (8-10 мин до образования концентрированной молочно-белой эмульсии дизельного топлива в воде. После этого доливается до нормы вода и продолжается перемешивание еще 3-4 мин Были приготов- лены следующие составы СОЖ (табл. 1)

Приготовленные СОЖ испытаны на полировке подложек из высокоглиноземис той керамики поликор на станке ЭШП Размер подложек в плане 60 х 48 мм, толш,ина 1 мм. Подложки наклеивались специальной канифольно-шеллаковой мастикой на стальные диски. Инструментом служил горизонтально вращаю- вщйся диск с концентрическими кольцевыми канавками, изготовленный из серого чугуна С4 15-32. Стальные диски с наклеенными подложками накладьюа- лись на притир сверху и прижимались с помощью стальной штанги, установленной на конце поводка, Рабочее движение поводка возвратно-вращательное

5

74

5 0

5 0

45 so 5S

0

14 , 2

Режим обработки: Скорость вращения притира , об/мин100 Число двойньк ходов поводка в минуту . 50 Удельное давление на подлож1 ;у, кг/см 1 Время обработки, мин 15 Применялась серийная алмазная паста на органической основе АСМ 5/3 ПОМ, которая наносилась на подложки перед обработкой намазыванием. Исходная шероховатость поверхности подло- жек соответствовала 6-му классу чис- тоты, СОЖ подавалась в зону обработки периодическим поливом, С каждой СОЖ было обработано по 100 подложек. Визуально контролировалось качество их обработки. Годными считались подложки с зер кальной поверхностью без дефектов (царапин)о Сравнение прово- . дилось с известной СОЖ (табл. 2, состав 6)о

Результаты испытаний приведены в табл. 2„

Как показали лабораторные исследования, при содержании дизельного топлива в эмульсии менее 28 мас.% смазочное и растворяющее действие ее ухудшаетсяг что отрицательно сказывается на качестве обработки. При содержании дизельного топлива в эмульсии более 32 вес,% увеличивается вязкость эмульсии, ухудшается смывание шлама с притира и начинается рост числа поверхностных дефектов (царапин ).

К аналогичным результатам приводят отклонения от заданного содержания в предложенной СОЭ полиэтиленгликолевых эфиров стеариновой и олеиновой кислот,

Содержание полиэтиленгликолевых эфиров высших йсирных спиртов в эмульсии выбиралось таким образом, чтобы устойчивость ее против коаласценции бьша не ниже 2 сут. Это условие выполняется при содержании этого продукта в эмульсии в пределах 0,04 - О508 масф%. Увеличение его количества сопровождается ухудшением полиру- юЩих свойств СОЖ.

Из табЛо 2 следует, что предложенная СОЖ позволяет увеличить по сравнению с прототипом выход годных деталей на полировке керамических изделий с 38 до 94-96%,

Компоненты СОЖ

Дизельное тоцливо

Полиэтиленгликолевые ры кислот:

стеариновой

олеиновой

Полиэтиленгликолевые эфи- ры высших жирных спиртов

Вода

0,04 0,06 0,08 0,02 0,1 До 100 . До 100 До 100 До 100 До 100

Составитель Е. Пономарева Редактор М. Келемеш Техред В.Кадар Корректор Е. Сирохман

4080/26

Тираж 482 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Таблица 1

Содержание, мас.%, состава

ШШ.

„.

32

27 33

1,5 0,4 1,6 4,5 . 3 5

Таблица