Способ определения относительного изменения межплоскостных расстояний в монокристаллах Советский патент 1986 года по МПК G01N23/20 

Изобретение относится: к рентге-- ноинтерферометрическиМ г;с;;певцов а :i:HHiv (:.труктурного совершенства монокрис- : аллов «

Цель изобретения - повышение гоч лостк измерений.

На чертеже показана с хема реа.ии-- зации способа.

Плоский пучок 1 реитгеночско: : излучения направляют на ионокрисгалп толщиной t, с косым BHyi peHffjb; cpsaoi 2 и с межплоскостным оасстоянием с1

,

под углом Вульфа-Брэгга в, 3 прсэме- жутке ме5кду двумя кристаллами р,нснр-э- страняются проходящая 3 и о-ражэ :Н1ан: 4 волные Расстояние g М1-.жду криг. лами 2 и 5 такое,, что пу-гки и ч пространственно erne Tfe -;)аз :1цпяю г;;:я , Интенференционная картила, образованная наложеннем дифрагированных з кристалле 5 с межш1Оскост}1Ым расст жннем i, -- d , + ad н тол1Ц5Н-юй i:, i}o.V:i Ь У, /5 ганляет собой с:исте: - у : apaj:(- .пельных линий; расстоян: е 1-;,.,у кого- рыми зависит от толщины: t . :- ;, , а также от расстояния с- Для т олщин не р в о г о к р и с т алл а t

(X I

стоянки К 5 связанных ; . ными расстояниями d , и :1

uj.

d

( Л длина рентгеновской вол ны. - длина экстинкпии рентгеновских луяе-й разность между волнами 6 и 7 сталовит ся постоянной и интерференнионнь)е 1;и- нин исчезают. Измерив толщину .., и ра ;стояние между кристаллами 5 в сечении, соответствующем месту исчезновения интерференционных ликий на тонограмме, можно ттс данной

, я /н

опре делит ij

П р и м- е PS Д.пя оценок кремниевый интерферометр с чла : гин:1м: толщиной t, -., 3000 MKi-;. П-л симметричном (220) отражении l t,d,, изл;. - чения (j О,/08 10 мкм) /.:. IHCIV- тинкдии рентгеновских лучей равна 36,6 мкм. Если расстояние кристаллами g изменяется в лред-алах 20 - 100 мкм, то диапазон относительного изменения межплоскостных расстояний,, .который можно и змер1 ТЬз нахонитси - пределах 1 ,82- 10 - 9,1- 0

лограшность s измеракии толин-1Н -iC-rajriOB к т;нсс1-о;-;ли ; мСлигу ними

мкм Oi-сюда относит(льная точност ;;редел2ния изменения :.СЖ лоскостных jcc-гоячий

Спос об О-;Р ле, отиосителилнс; iiaNieHiiHHH межг;ло;..ког -гимх расс;-гоя11}111 ;-: ((.1ок oi-ic-j ;ui::a ;, ; иКо1кр1 аюшийси л ---.-;, ч-.; ;7л;)(: i;:i:.S ;у :;ен : |---:,:о7;Ско . :,; излу-ае: ия liaupaiiJiHio ; г;од углом улофа--орз г; а ая z;; :;:-;-;;му из дзух

...-:;;1;/ ГЛЛТОЕ , ;е ;НЬ:Й 1: -: ( a.HOHI-iijiM ,. а -1-1 I г ,, угрИЧС-:- TCJj UHiJri

:, i;) выСранл i- - уi :-; ;-iii.Tr г-чс ча.пь -о - ;- :рохз ;ие1:ия ;.(.--: г; :М1Сг: KiM .: ,1:::: у-Х Н.:.-;К, и IJe- IU. -j-j.4; j .) :iy f- КарТИ у ,:-j j и - П iO П; ii Й;- н теМ;, чп с ., .; ис-лью :к;иьц11С:ния )сти -: змере1 :ий J :;ернь;тт мснокри-- : талл выполняют г косым внутренним :-:резо 1 гак, тгобь; рас;; .гоянис; мс;;-уО -,1:;:.Л1:ристал..таки Cutiio ,r;e 1)аз -;ео;; )6j:acTii перекрьпия зыхсдпщих ;-;з пер jijr: :-j ,}HOKp;;C i a:i:j;a золи, т(: 1аииа з-:о1юго ionoKpiic-:-aJi3ia гакже выбрана ; алс:чл;| ькпг с ;.)(;х,о;т;1;ения

1ионной карти| ;.фного мсжокрис- -аллг ,1-гве-; с-гну1ол1;е мес-гу разрыва , и онрел(;ляю г стяоси Гк.м чиое и-5ме: епие мзж: Л :-кос |;ных );к-с---tisuuifi 1к- diopMvna

31 -i У,