Натекатель для вакуумных систем Советский патент 1960 года по МПК G01F13/00 G01F15/16 

Известные в вакуумной технике натекател, позволяющие впускать в систему малые количества газа, имеют ряд недостатков: не позволяют топко регулировать малые количества натекающего газа, обладают известиой инерционностью, вызванной необходимостью разогрева натекателя, что удлиняет процесс и т. и.

Предлагаемый натекатель отличается от известных тем, что он содержит магнитострикциоиную трубку с постоянным подмагн шиванием. Это позволяет получить точную регулировку малых натеканий. при подаче газа в откачиваемый прибор.

Конструкция натекателя приведена на чертеже.

Магнитострикционная (никелевая) трубка / сокращает свои линейные размеры при обтекании намагничивающей катушки 2 постоянным током. При этом создается щель между торцом трубки и шляпкой 3, насаженной, иа стержень 4 из немагнитострикционного материала (латуни). Размеры щели определяются силой тока, протекающего по катущке. При выключении тока натекание газа прекращается, так как трубка / удлиняется и упирается в уплотнитель 5 из мягкого металла. Ток в катушку подается от источника 6 и регулируется реостатом 7. Стрелками указано направление движения газа.

Предложена также разновидность натекателя, в которой трубка является немагнитострикционной, а стержень-магнитострикционным.

Предмет изобретения

, Натекатель для вакуумных систем, содержащий стержень с заслонкой и уплотнителем, отличающийся тем, что, с целью повышения точности регулировки малых натеканий, стержень (или трубка) выполнен из магнитострикционного материала с постоянным под.магничиванием.