СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕР ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ФЕРРОГРАНАТОВ Советский патент 1995 года по МПК H01L21/463 

Изобретение относится к области механической обработки твердых хрупких материалов и может быть использовано при изготовлении сфер небольшого диаметра из монокристаллических феррогранатов.

Цель изобретения повышение выхода годных сфер по однородности кривой ферромагнитного резонанса. Монокристаллы иттрийжелезного граната Y₃Fe₅O₁₂ (ИЖГ) и кальцийвисмутванадиевого граната Ca_2xBi_3-2xFe5-xV_xO₁₂ (КВВГ) разрезают алмазной кольцевой пилой с внутренней режущей кромкой на заготовки в виде кубиков с длиной сторон 1,4 мм. После отбраковки кубиков, имеющих трещины и сколы, их обрабатывают с помощью абразива зернистостью 160/125 мкм методом обкатки до придания им формы, близкой к сферической. Затем сферы шлифуют во вращающихся чашках с наклоном стенок 45о при неподвижном диске (диаметр чашки 25 мм, угловая скорость вращения 100 об/с). Зернистость карбида кремния при шлифовании изменяют в следующей последовательности: 80/63; 40/28; 20/14 мкм. Затем сферы полируют с использованием порошков эльбора на полировальнике из текстолита, изменяя зернистость альбора в следующей последовательности: 10/7; 5/3; 1,0/0,5 мкм. Величину припуска при шлифовании выбирают из выражения 310 d/H3, где d диаметр зерна абразива. Н твердость монокристалла по Моосу (твердость ИЖГ по Моосу 7,5, твердость КВВГ по Моосу 6,5. При полировании сфер эльбором зернистостью 10/7 мкм снимают слой толщиной от 11 до 15 мкм. Обработанные сферы контролируют по однородности кривой ферромагнитного резонанса ΔН.

Результаты обработки и измерений сведены в таблицу.

Предлагаемый способ позволяет повысить выход годных сфер по однородности кривой ферромагнитного резонанса почти в восемь раз, причем производительность обработки повышается по сравнению с известными способами в 2,5-2,7 раза.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕР ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ФЕРРОГРАНАТОВ, включающий резку монокристаллов на кубические заготовки, придание заготовкам формы, близкой к сферической, с использованием абразива зернистостью 160/125 мкм, шлифование связанным абразивом последовательно уменьшающейся зернистости 80/63, 40/28, 20/14 мкм, полирование свободным абразивом последовательно уменьшающейся зернистости 10/7, 5/3, 3/2, 1/0,5 мкм, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных сфер по однородности кривой ферромагнитного резонанса, на каждом этапе шлифования снимают слой толщиной 310 d/H³, а при полировании абразивом зернистостью 10/7 мкм, преимущественно эльбором на полировальнике из стеклотекстолита, снимают слой толщиной от 11 до 15 мкм, где d зернистость абразива, мкм, Н твердость монокристалла по Моосу.