Интерферометр ротационного сдвига Советский патент 1986 года по МПК G01B9/02 

г ,

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля волновых аберраций онтических систем.

Целью изобретения является повышение точности, надежности измерений и упрощение конструкции интерферометра

На чертеже представлена конструкция интерферометра.

Интерферометр представляет собой уголковый отражатель, выполненный в виде триппельпризмы 1, а светоде.литель выполнен в виде полупрозрачной диэлектрической пленки 2, нанесенной на основание триппельпри мы 1, основание которой ориентировано перпендикулярно пунку 3 на выходе контролируемой системы.

Интерферометр работает следующим образом.

Исследуемая волна, попадая на основание триппельпризмы 1, частично отражается диэлектрической пленкой 2,,а частично проходит уголковый отражатель, испытывая поворот н 180°. В результате получаются два повернутых на 180° один относительно другого волновых фронта,, которые и интерферируют между собой

Возникающая интерференционная картина определяет нечетные аберрации падающей волны, четные аберрации оказьшаются подавленными.

Благодаря объединению всех элементов схемы интерферометра в один конструктивный элемент достигнуто

68947

значительное упроп ;ение ко 1струкции. Это упроп ает работу с интерферометром, повышает его надежность, уменьшает ошибки, вносимые элементами

5 конструкции, что способствует повышению точности измерений. Снижается также стоимость изготовления интерферометра. Положительным качеством является то, что он мало чувствите10 лен к небольшим разъюстировкам, в связи с чем повышается надежностьего работы. Повышение точности измерений и упрощение системы регистрации получающейся интерферограммы

tS обусловлены также малой чувствительностью интерферометра к вибрациям.

Благодаря подавлению четных аберраций волнового фронта интерферометр может быть использован в каче20 стве датчика волнового фронта для организации управления в адаптивных оптических системах.

Формула изобретения

Интерферометр ротационного сдвига, содержащий амплитудный светоделитель, оптически связанный со светоделителем уголковый отражатель,

отлич ающий с я тем, что, с целью повышения точности, надежности измерений и упрощения конструкции, уголковый отражатель выполнен в виде триппельпризмы, а светоделитель выполнен в виде полупрозрачной диэлектрической пленки, нанесенной на основание триппельпризмы.

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля волновых аберраций оптических систем. Интерферометр состоит из триппельпризмы 1, на основание которой нанесена полупрозрачная пленка 2. Триппельпризма 1 ориентируется перпендикулярно пучку лучей на выходе контролируемой системы. Падающая на триппельпризму 1 волна частично отражается полупрозрачной пленкой 2, а частично проходит его и после отражения от граней триппельпризмы 1, уровень проходит пленку 2. На выходе из триппельпризмы 1 обе час-. ти излучения совмещаются и интерферируют. Благодаря тому, что фронт, отраженный гранями, триппельпризмы . 1, повернут вокруг ее оси на 180°, интерференционная картина содержит информацию о нечетных аберрациях контролируемой системы. В интерферометре основные элементы объедиQ нены в один конструктивный элемент. ф Благодаря этому повьщ1ается точность ел и надежность измерений, упрощается конструкция интерферометра. 1 ил. IND а СХ) со 4 г