Способ контроля ориентации объекта при пробивке отверстий в нем Советский патент 1986 года по МПК G01B9/04 

ьэ о ел ел to Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может най ти применение в радиоэлектронике при ультразвуковой пробивке некруглых отверстий в подложках микросхем. Целью изобретения является повыше ние точности ориентации при пробивке некругльк отверстий за счет контроля положения торца рабочего инструмента осуществляющего пробивку. На чертеже показана последователь ность действия при контроле ориентации объекта. На чертеже показаны подвижная каретка 1, контрольный объект 2, на наружную поверхность которого предва рительно наносят слой пластичного ма териала 3, след торца рабочего инструмента 4, перекрестие окуляра микроскопа 5, рабочий объект 6, например подложка микросхемы и реперная метка 7. Контроль согласно способу осуществляют следующим образом. Устанавливают на подвижнзпо каретку 1 контрольный объект 2, перемеща|ЮТ его в зону обработки под рабочий инструмент, опускают рабочий инструмент на контрольньй объект, фиксируя на нем след торца инструмента 4. Затем перемещают каретку на базовое расстояние (L), подводя контрольный объект под микроскоп. Наблюдают след торца инструмента в микроскоп, ориен тируя перекрытие его окуляра 5 вдоль его осей симметрии. Фиксируют окуляр в-данном положении. Заменяют контрольный объект рабочим и совмещают оси его реперной метки 7 с перекрестием окуляра микроскопа 5, разворачивая рабочий объект. После этого перемещают каретку на базовое -расстояние (L) .под рабочий инструмент, Формула изобретения Способ контроля ориентации объекта при пробивке отверстий в нем, заключающийся в том, что совмещают реперную метку объекта с оптической осью микроскопа и перемещают объект на базовое расстояние под рабочий инструмент, отличающийся тем, что, с целью повышения точности ориентации при пробивке некруглых отверстий, перед совмещением реперной метки объекта с.оптической осью микроскопа фиксируют след торца инструмента, осуществляющего пробивку отверстия на контрольном объекте, перемещают контрольный объект на базовое расстояние под микроскоп, ориентируют перекрестие окуляра микроскопа вдоль осей симметрии следа торца инструмента и заменяют контрольный объект рабочим, а после совмещения реперной метки объекта с оптической осью микроскопа разворачивают объект вокруг оптической оси микроскопа, совмещая линии его реперной метки с соответствующими линиями перекрестия окуляра микроскопа.

Изобретение может использоваться в радиозлектронйке при ультразвуковой пробивке некруглых отверстий в подложках микросхем. Целью изобретения является повьшение точности ориентации объекта при пробивке некруглых отверстий в нем за счет контроля положения торца рабочего инструмента, осуществляющего пробивку. Предварительно наносят слой пластичного материала на контрольный объект, фиксируют на нем след торца рабочего инструмента, наблюдая след торца инструмента в микроскоп, ориентируют перекрытие его окуляра вдоль осей симметрии следа торца. Фиксируют окуляр в данном положении, заменяют контрольньй объект рабочим и совмещают оси его реперной метки с перекрестием окуляра микроскопа, разворачивая рабочий объект, после чего его перемещают на базовое расстояние под рабочий инструмент.

X

5