Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1990 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к обллстн вакуумной техники, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучгае- 5 мне откачных характеристик насоса,

На фиг, 1 представлен .предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 - ротор, общий вид.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и установленный по его оси цилиндрический ротор 2 с винтовыми каналами 3 и радиаль.ными проточками 4 расположенными с переменным шагом и имеющими переменную глу бину , убывающую от входа к выходу насоса. Корпус Г снабжен статорными дисками 5, размещенными с зазорами в проточках 4 ротора 2 И имеющими

Ю

ками, расположенными к .б ности дисков 5 под углом ложным углу наклона винт 3 ротора 2,

Предлагаемый насос ра гощим образом.

При вращении ротора 2 товым каналам 3 переноси к выходу насоса. Наличие дельными ступенями насос ными проточками 4, стато обеспечивает существенно обратных перетечек газа входу насоса по зазору м 1 и ротором 2. Снижение n водит к увеличению быстр насоса и степени сжатия ни, т.е. улучшает откачн

радиальные каналы с наклонными стен- ристики насоса в целом.

ками, расположенными к .боковой п оверх- ности дисков 5 под углом , противоположным углу наклона винтовых каналов 3 ротора 2,

Предлагаемый насос работает следу-. гощим образом.

При вращении ротора 2 газ по винтовым каналам 3 переносится от входа к выходу насоса. Наличие между отг. дельными ступенями насоса, ограничен ными проточками 4, статорных дисков 5 обеспечивает существенное снижение обратных перетечек газа от выхода к входу насоса по зазору между корпусом 1 и ротором 2. Снижение nepete4eK приводит к увеличению быстроты действия насоса и степени сжатия каждой ступени, т.е. улучшает откачные характеРедактор

С, Кулакова

Фаг. 2

Составитель В. Кряковкин

Техред И.ГлущенкоКорректор Г. Решетник

Заказ А360

Тираж 500

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий . 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Пр /сктная, 4

Подписное