Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1987 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомоле- кулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик путем уменьше- ния обратных перетечек в зоне второй ступени, повышение надежности путем подачи смазки в опоры при выполнении их в виде подшипников качения, а также исключение попадания паров смазки в откачиваемый объем.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, размешенные на внутренней поверхности корпуса I статор- ные диски 3 первой ступени и статор второй ступени с каналами на внутренней поверхности, имеюшими уменьшаюшуюся по ходу газа глубину, и ротор 4 с валом 5, установленным по оси корпуса 1 на опорах 6, роторными дисками 7, ответными статор- ным дискам 3, и цилиндрическим участком 8, ответным статору второй ступени, выполненному в виде набора колец 9 с выемками 10 на внутренней поверхности, смешенными относительно друг друга у соседних колец в окружном направлении с образованием лабиринтных зазоров, служаших каналами. Насос снабжен масляной ванной 11, вал 5 выполнен полым и снабжен каналами 12 и 13, сообшенными с полостью 14 вала 5

5 0

0

и подключенным к опорам 6, причем полость 14 вала 5 заполнена гигроскопичным материалом и сообшена с масляной ванной 11. Насос также дополнительно содержит патрубок 15 напуска заш,итного газа, расположенный на корпусе 1 между ступенями.

Насос работает следуюшим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в корпус I насоса через входной патрубок 2, откуда,взаимодействуя с лопатками роторных дисков 7, переносится ко второй ступени и по каналу, образованному выемками 10, далее к выходу из насоса. Выполнение статора второй ступени в виде колец 9 с выемками 10, смешенными в окружном направлении у соседних колец, дает возможность образовать лабиринтный зазор .между валом 5 и статором второй ступени, который в значительной степени препятствует обратному потоку выхода насоса к входу, что обеспечивает улучшение откачных характеристик. Наличие в полости 14 вала 5 гигроскопичного материала способствует рациональной подаче смазки в опоры 6, что обуславливает надежность насоса в целом вследствие хорошей смазки подшипниковых узлов. Проникновению паров смазки в откачиваемый объе.м препятствует подача зашитного газа в зону между ступенями через патрубок 15. Зашитный газ создает направленный поток в сторону откачки и не позволяет парам проникать в зону первой ступени и далее.

Составитель В. Кряковкин

Редактор Г. ГерберТехре-д И. ВересКорректор И. Муска

Заказ 7570/37Тираж573Подписное

ВНИИПИ Государственного, комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственио-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4