Устройство для очистки пластин Советский патент 1987 года по МПК B08B1/00 

10

Изобретение относится к оборудованию для очистки пластин и может найти применение, например, при производстве полупроводниковых приборов.

Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение качества очистки.

На фиг. 1 изображено устройство для очистки пластин, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Устройство содержит центрифугу 1 с приводом 2 вращения и вакуумным столиком 3 для размещения обрабатываемых пластин 4, щетки 5 и 6 с приводом в виде ролика 7 и оградительный кожух 8. Щетки 5 и 6 (фиг. 2) выполнены, например, овальной формы и с помощью осей 9 закреплены jj на держателе 10 щеток. Ограничители 11 хода в виде пальцев установлены на кронштейне 10. Штуцер 12 используется для подачи моющей жидкости.

Устройство для очистки пластин работает следующим образом.

Пластину 4 закрепляют на вакуумном столике 3 центрифуги 1. После этого приводят в рабочее положение щетки 5 и 6, для чего держатель 10 перемещают таким образом, чтобы их рабочая поверхность была обращена к обрабатываемой пластине 4 (ме; ханизм перемещения не показан). Включают привод 2 центрифуги 1 и подают моющую жидкость через штуцер 12.

Столик 3 начинает вращаться, приводя в

20

25

6. Скорость перемещения моющих щеток по поверхности пластины 4 за счет овальной формы щеток 5 и 6 одинакова от центра к периферии, что способствует высокому качеству отмывки.

Траектория движения щеток 5 и б, показанная на фиг. 2 пунктиром, показывает, что обрабатываемая вся поверхность пластины 4. По окончании работы привод 2 выключают, кронщтейн Ю поднимают, пластину 4 вынимают, на ее место ставят новую, и процесс повторяется.

Формула изобретения

1. Устройство для очистки пластин, содержащее столик для размещения очищаемых пластин с приводом его вращения вокруг оси, перпендикулярной плоскости столика, размещенный над столиком держатель щеток, установленные на держателе посредством осей две щетки, причем щетки смонтированы на осях свободно, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения качества очистки, каждая щетка выполнена дисковой в виде эксцентрика округлой формы, щетки установлены с возможностью контактирования своими боковыми поверхностями друг с другом, а столик снабжен роликом, свободно установленным на оси с возможностью периодического

движение ролик 7, который, взаимодействуя 30 контакта с боковой поверхностью щеток при

со щеткой 5, приводит ее в движение. Далее при движении одна из щеток касается ограничителя 11 хода, который задерживает ее дальнейшее движение. Но ролик 7, продолжая движение, начинает взаимодействовать со щеткой 6, одновременно приводя в движение (но в обратном направлении) щетку 5. При этом щетка 6 также приходит в движение, что обеспечивает отмывку пластины 4 одновременно двумя щетками 5 и

35

вращении столика для придания им колебательного перемещения в плоскости столика.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждая щетка снабжена ограничителем перемещения, имеющим установленный на держателе палец, а в каждой щетке выполнен дугообразный паз под соответствующий палец.

3.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что щетки выполнены овальной формы.

6. Скорость перемещения моющих щеток по поверхности пластины 4 за счет овальной формы щеток 5 и 6 одинакова от центра к периферии, что способствует высокому качеству отмывки.

Траектория движения щеток 5 и б, показанная на фиг. 2 пунктиром, показывает, что обрабатываемая вся поверхность пластины 4. По окончании работы привод 2 выключают, кронщтейн Ю поднимают, пластину 4 вынимают, на ее место ставят новую, и процесс повторяется.

Формула изобретения

1. Устройство для очистки пластин, содержащее столик для размещения очищаемых пластин с приводом его вращения вокруг оси, перпендикулярной плоскости столика, размещенный над столиком держатель щеток, установленные на держателе посредством осей две щетки, причем щетки смонтированы на осях свободно, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения качества очистки, каждая щетка выполнена дисковой в виде эксцентрика округлой формы, щетки установлены с возможностью контактирования своими боковыми поверхностями друг с другом, а столик снабжен роликом, свободно установленным на оси с возможностью периодического

вращении столика для придания им колебательного перемещения в плоскости столика.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждая щетка снабжена ограничителем перемещения, имеющим установленный на держателе палец, а в каждой щетке выполнен дугообразный паз под соответствующий палец.

3.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что щетки выполнены овальной формы.

J

5и6

Фиг.1

Фи.2

Изобретение относится к оборудованию для очистки пластин. Цель - упрощение конструкции и повышение качества очистки пластин. Устройство содержит столик с приводом вращения, на котором закрепляется очищаемая пластина. Очистка пластины производится дисковыми щетками округлой, например овальной, формы, эксцентрично установленными на осях и контактируюпхи- ми боковыми поверхностями друг с другом. В процессе очистки при вращении столика свободно установленный на нем ролик, контактируя с боковой поверхностью щеток, вызывает их колебательное перемещение по поверхности очищаемой пластины. Величина этих перемещений ограничивается пальцем, вставленным в дугообразный паз каждой щетки. 2 3. п. ф-лы, 2 ил. ND СХ) 1чЭ СО N3 сл