Устройство для двусторонней очистки плоских деталей Советский патент 1991 года по МПК B08B3/02 

Изобретение относится к технологическому оборудованию полупроводникового производства, в частности к устройствам для очистки поверхностей фотошаблонов.

Цель изобретения - повышение качества очистки и расширение технологических возможностей.

На фиг.1 и 2 изображено устройство, общий вид; на фиг.З - форма моющего материала нижней щетки; на фиг.4 - то же, разрез А-А на фиг.З; на фиг.5 - форма моющего материала верхней щетки; нз фиг.б - установка держателя верхней щетки; на фиг.7 - положение носителя и фотошаблона на нижней щетке.

Устройство (фиг. 1-6) содержит ванну 1 со штуцером 2. в которой установлена стойка 3 с подводящим каналом 4 для моющей жидкости, на которой закреплен держатель 5 с моющим материалом 6, замкнутым контуром 7 (нижняя щетка) и отверстиями 8 для подачи жидкости. Над держателем 5 расположен держатель 9 с моющим материалом 10 (верхнл щетка) и соединен с кронштейном 11 гайкой 12 через диск 13 со сферической поверхностью 14 и втулкой 15

Для исключения разрушения очищаемых деталей регулируется усилие прижатия щеток.

Для регулирования усилия прижатия к детали 16 при очистке служат пружина 17 и

Ю

ГО

СП

шток 18, предохраняющий при работе от разворота держатель 9 с подводным каналом 19 и отверстиями 20. Кронштейн 11 связан с приводом вертикального перемещения (не показано). Для перемещения деталей между моющими материалами 6 и 10 при очистке служит носитель 21, закрепленный на осях 22, установленных в кронштейне 11 и связанных с приводом горизонтального перемещения (не показано). На нижней щетке выполнены каналы так, что они по периметру образуют замкнутый контур, а на верхней щетке - сквозные каналы 23, шаг которых подбирается экспериментально.

Кроме того, каналы расположены под углом (2 45° к направлению перемещения носителя фотошаблона.

Устройстве работает следующим образом.

Плоская деталь (фотошаблон)укладывается на поверхность моющего материала 6, закрепленного на держателе 5. При опускании кронштейна 11 вместе с носителем 21 фотошаблон 16 углами попадает в пазы носителя 21, при этом держатель 9 с-моющим материалом 10 тоже опускается на поверхность фотошаблона, а за счет пружин 17 создается усилие прижатия к поверхности. Диск 13 со сферической поверхностью 14 позволяет самовыставляться верхней щетке в плоскости фотошаблона. Включается привод горизонтального перемещения носителя 21 и осуществляется подача моющей жидкости через каналы 4 и 19 и отверстия 8 и 20, происходит очистка поверхностей фотошаблона.

Выполнение каналов на верхней и нчж- ней щетках обеспечивает качественную очистку поверхности за счет быстрого удаления загрязнений по каналам между моющим материалом, а также самоочистку за счет расположения каналов под углом к направлению перемещения носителя с фотошаблоном.

Выполнение каналов на нижней щетке с замкнутым контуром 7 моющего материала создает возможность заполнения каналов жидкостью, которая имеет при этом хороший контакт с очищаемой поверхностью. После перемещения фотошаблона между

щетками привод носителя отключается, верхняя щетка поднимается, фотошаблон выгружается на следующую технологическую операцию.

Пример. Фотошаблон толщиной (d) 3

мм и размерами 127x127 мм устанавливали на носитель. Производили очистку поверхностей фотошаблона моющим раствором в течение 30-40 с, а затем водой в течение 50-60 с. После чего на центрифуге осуществляли последующее удаление влаги в течение 50-60 с; частота вращения центрифуги - 2200-2500 об/мин, При этом для качественной очистки фотошаблонов на щетках выполнены пазы шириной 8-мм. Ширина

ленты (сектора) составляла 12 мм для данного фотошаблона, угол наклона каналов к на- правлению перемещения носителя выбирался экспериментально, равным 45°.

Формула изобретения

Устройство для двусторонней очистки плоских деталей, содержащее моечную ванну, размещенные в ванне один над другим верхний и нижний очистные элементы с щетками, трубопроводы для подачи моющей жидкости к щеткам, отличающееся тем, что, с целью повышения качества очистки и расширения технологических возможностей, оно снабжено диском со сферической торцовой поверхностью, резьбовой втулкой, пружиной и кронштейном, при этом диск жестко установлен на верхнем очистном элементе, закрепленном на втулке посредством гайки, контактирующей с диском по

его сферической поверхности, и подпружиненном относительно втулки, а последняя установлена жестко на кронштейне, при этом на рабочей поверхности щетки каждого очистного элемента выполнены расположенные в ряд каналы, причем на рабочей поверхности верхнего очистного элемента каналы выполнены сквозными.

CM «N

V

8

А

1

25

Изобретение относится к очистке плоских деталей и позволяет повысить качество очистки и расширить технологические возможности. Устройство содержит ванну, в которой установлена стойка с подводящим каналом для моющей жидкости, на которой закреплен держатель с моющим материалом, замкнутым контуром и отверстиями для подачи жидкости. Над нижним держателем расположен верхний держатель с моюш.им материалом (верхняя щетчз) и соединен с кронштейном гайкой через диск со сферической поверхностью и втулкой. Для регулирования усилия прижатия к детали при очистке служат пружина и шток, предохраняющий при работе от разворота держатель с подводящим каналом и отверстиями. Кронштейн связан с приводом вертикального перемещения. Для перемещения деталей между моющмми материалами при очистке служит носитель, закрепленный на осях установленных s кронштейне и связанных с приводом горизонтального перемещения. На нижней щетке выполнены каналы так. что по периметру щетки образуется замкнутый контур из моющего материала щетки, а на верхней щетке, выполнены сквозные каналы. Причем каналы расположены под углом а 45° к направлению перемещения фотошаблона. 7 ил.

Ј /WVVVV K I Rx kvvvvvvx l

8

Фиг Л

20

А-А

/

1

Фиг Л

Ю

Ю

23

Фи2.5

15

r«Vi 7iTiT T TlMiT«: l T MW

/

L

Фиг.6

16

2/

21

6

2

It