Интерферометр для измерения углов поворота объекта Советский патент 1987 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения угловых перемещений.

Цель изобретения - повышение точности измерения путем получения четырех импульсов отсчета за один период интерференционной картины.

На чертеже представлена схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит последовательно расположенные лазер 1 и светоделитель 2, два уголковых отражателя 3 и 4, предназначенные для скрепления с объектом (не обозначен), фоторегистрирующий блок в виде двух светоделителей 5 и 6, четырех диафрагм 7, 8, 9 и 10 и четырех фотоприемников 11, 12, 13 и 14.

Устройство работает следующим образом.

Излучение от лазера 1, пройдя через светоделитель 2, делится на два потока, равных по интенсивности, попадает на уголковые отражатели 3 и 4, обеспечивающие пространственное разнесение двух потоков.

После отражения от уголковых отражателей 3 и 4 светоделитель 2 соединяет отраженные интерферируемые потоки и направляет их на светоделители 5 и 6.

Диафрагмы 7, 8, 9 и 10, установленные перед фотоприемниками 11, .12, 13 и 14, вырезают участки интерферирующих полос, сдвинутых друк относительно друга на 1/4 щирины полосы.

При повороте объекта длина одного плеча интерферометра уменьщается, а другого увеличивается, что приводит к перемещению интерференционной картины.

10

Формула изобретения

Интерферометр для измерения углов поворота объекта, содержащий последовательно расположенные лазер и светоделитель излучения на два потока с расположенными в каждом из них уголковым отражателем, каждый из которых предназначен для С1 репления с объектом, и фоторегистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерения, фоторегистрирующий блок выполнен в виде двух идентичных фотоэлектрических преобразователей, каждый из которых состоит соответственно из светоделителя, делящего излучение на два потока, двух диафрагм и двух фотоприемников, установленных в каждом из потоков от светоделителя.

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения угловых перемеш,ений. Целью изобретения является повышение точности измерения путем получения четырех импульсов отсчета за один период интерференционной картины. Излучение от лазера 1, пройдя через светоделитель 2, делится на два потока, равных по интенсивности, попадает на два уголковых отражателя 3 и 4, после отражения от которых потоки интерферируют и направляются на светоделители 5 и 6. Диафрагмы 7, 8, 9 и 10, установленные перед фотоприемниками 11, 12, 13 и 14, вырезают участки интерференционных полос, при повороте объекта (на чертеже не обозначен) происходит перемещение интерференционной картины. 1 ил. 12 С/) 8 5 11 7 TDТ / ч/ 1№ Ф .7 :Л 1 - 10 Ш