Изобретение касается химической обработки металлов, в частности травления тантала, и может быть использовано, например, в электронной технике при производстве дискретных полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Целью изобретения является улучшение качества, повышение равномерности и увеличение скорости травления.
После нанесения пленки тантала на кремниевую подложку в установке вакуумного напыления плазменным распылением ее извлекают из установки, и на пленку тантала наносят фоторезист, вскрывают контактные окна в нем, затем высушивают. В результате на поверхности пленки тантала в скрытых контактных окнах образуется тонкий слой оксида тантала.
Известный раствор, содержащий фтористоводородную кислоту в смеси с азотной кислотой, слабо растворяет оксид тантала, поэтому процесс травления пленки тантала получается неравномерным и медленным. Назначение соляной кислоты снятие оксида тантала ускоряет процесс травления тантала. В то же время НСl является поставщиком Н+ + е-, что поддерживает стабильность раствора и обеспечивает равномерность травления.
Сравнительные данные, полученные при травлении тантала, толщиной 400-500 
, нанесенного на кремниевую подложку с удельным сопротивлением 1 Ом/см со слоем оксида кремния и сформированными в ней Р-областями в предложенном растворе и в известном приведены в таблице.
Из анализа приведенных данных следует, что (пример 3) травление равномерное, обеспечивает полное вытравливание тантала без подтравов, скорость травления составляет 0,0005 0,0006 мкм/с, высокий процент выхода годных 99,8%
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ | 1991 |
|
SU1814460A1 |
| СЕЛЕКТИВНЫЙ ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ТИТАНАТА БАРИЯ | 2017 |
|
RU2674118C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОПРОНИЦАЕМОЙ МЕМБРАНЫ | 2008 |
|
RU2365403C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ПОЛУПРОВОДНИКОГО ГАЗОВОГО СЕНСОРА | 2006 |
|
RU2319953C1 |
| СПОСОБ ВЫТРАВЛИВАНИЯ КОНТАКТНОЙ ПЛОЩАДКИ ВСТРОЕННОГО ДИОДА ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ | 2014 |
|
RU2577826C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОПРОНИЦАЕМОЙ МЕМБРАНЫ И ГАЗОПРОНИЦАЕМАЯ МЕМБРАНА | 2007 |
|
RU2335334C1 |
| Раствор для подготовки поверхности алюминия и его сплавов перед химическим никелированием | 1982 |
|
SU1147767A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ С АНТИОТРАЖАЮЩИМ ПОКРЫТИЕМ | 1990 |
|
SU1779208A1 |
| СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ КАТАЛИЗАТОРА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СИНТЕЗ-ГАЗА | 2012 |
|
RU2493912C1 |
| Раствор для травления силицидов металлов | 1991 |
|
SU1795985A3 |
Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч.:
Фтористоводородная кислота - 0,5 - 2
Соляная кислота - 2 - 4
Вода - 2 - 4
Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч.
Фтористоводородная кислота 0,5 2
Соляная кислота 2 4
Вода 2 4
| Парусников и др | |||
| ст | |||
| Очистка горячетянутой танталовой проволоки от графитовой смазки | |||
| Цветные металлы | |||
| Печь-кухня, могущая работать, как самостоятельно, так и в комбинации с разного рода нагревательными приборами | 1921 |
|
SU10A1 |
| Ямпольский А.М | |||
| Травление металлов | |||
| М.-Л.: Машиностроение, 1964, с.108. | |||
