Устройство для контроля плоскостности полированных полупроводниковых пластин Советский патент 1987 года по МПК G01B11/24 G01B9/02 

матором и матовьм экраном 6 расположены по одну сторону от плоского зеркала Д так, что их оптические зрачки являются зеркальным отражением друг друга относительно нормали к эталонной поверхности клина 5. На матовом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть прш-ie- нено для определения степени дефектности полированных поверхностей, i плоскостности полированных плоскосте любого профиля и стрелы прогиба однородно изогнутых пластине

Цель изобретения - упрощение конструкции путем упрощения основных элементов устройства и их располо- же ния,

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля плоскостности полированных полупроводниковых пластин..

Устройство содержит последовательно установленные на одной оси источник 1 монохроматического когерентного излучения, коллиматор, состоящий из микрообъектива 2 и коллимирующего объектива 3, оптический элемент в виде плоского зеркала 4 и эталонный оптический клин 5, видеоконтрольньш блок в виде матового экрана 6 с координатной сеткой (на чертеже не показана) ,

Плоское зеркало 4 располагается относительно источника 1 излучения и матового экрана 6 так, что излуче- ние, проинтерферировавшее в зазоре между контролируемой поверхностью пластины 7 и эталонной поверхностью клина 5 и отражаемое поверхностью .. плоского зеркала 4, попадает на матовьй экран 6. Источник 1 излучения с коллиматором и матовьй экран 6 уста- нрвлены по одну сторону от плоского зеркала 4, так, что их оптические зрачки являются зеркальным отражением друг друга относительно нормали к эталонной поверхности клина 5. В качестве источника 1 монохроматического когерентного излучения используется пазер Коллиматор состоит из двух объективов: первый микрообъектив 2

экране 6 визуально наблюдают интер- .ференционную картину сразу от всей контролируемой поверхности пластины 7, по которой и производится ко- троль плоскостности пластины 7.. 1 ил.

5

О

5

Q

5

фокусирует излучение лазера в точку, которая лежит в фокусе второго коллимирующего объектива 3. Оба объектива 2 и 3 подобраны так, что их относительные отверстия предельно,близки. Коллимирующи объектиБ 3 и микрообъектив 2 установлены с возможностью перемещения относительно друг друга вдоль оси светового пучка. Это позволяет точно совместить их фокусы и получить параллельный пучок когерентного излучения, имеющий поперечньш размер, равный диаметру коллимирующего объектива 3,

Устройство работает следующим образом.

На пути лазерного луча располагают микрообъектив 2 так, чтобы его ось совпадала с направлением лазерного луча. Вдоль этой оси от фокуса микрообъектива 2 располагают колли- мирукщий объектив 3 на расстоянии, равном фокусному расстоянию последнего. Перемещением коллимирующего объектива 3 вдоль оси около фокуса микрообъектива 2 добиваются того, чтобы после коллимирующего- объектива 3 распространился параллельный пучок, который направляют на поверхность плоского зеркала 4. Над зеркалом 4 располагают эталонный оптический клин и контролируемую пластину 7 так, чтобы нормаль к эталонной поверхности клина 5, восстанавливаемая из ее центра, проходила через центр зеркала 4. Зеркало 4 разворачивают вокруг горизонтальной оси до тех пор, пока эталонный оптический клин 5 и контролируемая пластина 7 будут находиться в середине светового поля параллельного пучка. Матовый экран 6 располагают на оси луча, который является направлением зеркального отражения оси лазера и коллиматора относительно нормали к поверхности клина 5 и получают интерференционную картину контролируемой поверхности пластины 7, которая наблюдается визуально от всей поверхности сразу на матовом -экране 6 и по которой производится контроль плоскостности пластины 7.

Формуле изобретения Устройство для контроля плоскостности полированных полупроводниковых пластин, содержащее последовательно установленные источник монохроматичекого когерентного излучения, коллиматор, оптический элемент и эталонный оптический клин, видеоконтрольньй блок, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции.

Редактор М. Товтин

Составитель Л. Лобзова

Техред Л.Сердюкова Корректор И. Эрдейи

Заказ 370/41 Тираж 678 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

O

5

видеоконтрольный блок выполнен в ви де матового экрана, оптический элемент выполнен в виде плоского 3epKajj a, располагаемого относительно источника излучения и видеоконтрольного блока так, что излучение, проинтерферировав- шее в зазоре между контролируемой поверхностью и эталонной поверхностью клина и отражаемое поверхностью зеркала, попадает на видеоконтрольный блок, а источник излучения с коллиматором и видеоконтрольный блок установлены по одну сторону от плоского зеркала так, что их оптические зрачки являются зеркальным отражением друг друга относительно нормали к эталонной поверхности.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля плоскостности полированных полупроводниковых пластин. Цель изобретения- упрощение конструкции путем упрощения основных элементоз устройства и их расположения. Устройство содержит видеоконтрольный блок, выполненный в виде матового экрана 6, оптический элемент, выполненньй в виде плоского зеркала 4, расположенного относительно источника 1 монохроматического излучения и матового экрана 6 так, что отражающая поверхность зеркала 4 подает на эталонную поверхность монохроматические когерентные лучи, принимает лучи, проинтерфери- ровавшие в зазоре между контролируемой поверхностью пластины 7 и эталонной поверхностью клина 5, и направляет их на матовый экран 6, а источ- ниж 1 когерентного излучения с коллип (О (Л &0 4 50 сд