Устройство для контроля качества телескопических оптических систем Советский патент 1987 года по МПК G01M11/00 G01B9/02 G01B11/24 

раций контролируемой системы определяется величина разворота контрольного зеркала, 3 при пергходе из одно го положения в другое. Определяя -разворот зеркала 3 в каждом положе Изобретение относится к измери- тельной технике и может быть использовано, в частности, для контроля качества телескопических оптических Систем.

Цель изобретения - возможност1з КОНТРО41Я крупногабаритных систем.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля качества телескопических оптических систем.

Устройство содержит последовательно расположенные монохромати-:- ческий источник 1 света, интерференционный блок 2 в виде интерферометра типа Физо, плоское контрольное зеркало 3, плоское зеркало 4, жестко связанное с зеркалом 3 и установленное под прямым углом к нему, регистрирующий узел - автоколлиматор 5 и направляющие 6 для перемещения зеркала 3

Контролируемая телескопическая оптическая система представляет собой два зеркала - вогнутое 7 и выпуклое 8 (хотя в общем случае она может состоять и из большего числа оптических элементов). Перед контролируемой телескопической системой установлен монохроматический источник 1 света и интерферендионньш блок 2 - интерферометр типа.Физо, Выходящий из интерференционного бло- 2 параллельный пучок лучей расширяется контролируемой системой и часть этого пучка падает на контрольное зеркало 3, диаметр которого може быть существенно меньше диаметра зеркала 7 контролируемой системы, Отраженный от зеркала 3 пучок лучей возвращается контролируемой системой и Интерферирует с пучком, отраженным

нии, строят кривую угловых аберра- . ций контролируемого волнового фронта, однозначно связанных с другими геометрическими или волновыми абер- рациями системы. 1 ил.

0

5

0

5

0

5

5

от эталонной поверхности пластины интерферометра типа Физо. Соответст вующей настройкой схемы -добиваютс .появления в поле зрения интерференционной картины. В данном, случае, в поле зрения интерферометра будет видна интерференционная картина вол- :нового фронта, проходящего через I верхнюю краевую часть контролируемой системы. Затем.контрольное зеркало 3 по направляющим 6 перемещают перпендикулярно параллельному пучку лучей, выходящему из контролируемой системы, так, чтобы сечение контролируемого пучка измерялось не менее чем в 16-18 точках и в каждом сечении настраивают интерференционную картину на минимальное число интерференционных полос. Направляющие 6 расположены перпендикувянгно параллельному пучку лучей, выходящему из контролируемой системы, и обеспечивают перемещение зеркала 3 по всему сечению этого пучка. С зеркалом 3 жестко связано плоское зеркало 4, которое является отражателем автоколлиматора 5, оптическая ось которого совпадает с направлением перемещения зеркал 3 и 4. При этом при переходе зеркала 3 в очередное положение с помощью автоколлиматора 5 определяют величину разворота зеркала 3, вызванного ошибками волнового фронта контролируемой системы, т.е. ее угловые аберрации. Следовательно, определяя разворот зеркала 3 в каждом положении, строят кривую угловых аберраций контролируемого волнового фронта, однозначно связанных с другими геометрическими или во(новыми аберрациям системы. Таким образом с помощью зеркала 3 небольшого диаметра может контролироваться волновой фронт неограниченного размера.

3. 12934864

Формула изобретенияможности контроля крупногабаритных

систем, оно снабжено плоским зерка-.

Устройство для контроля качества лом, жестко связанным с контрольным телескопических оптических систем, со- зеркалом и установленным под прямым держащее последовательно расположен- 5 УГЛОМ к нему, контрольное зеркало ные монохроматический источник света, выполнено с возможностью перемещения интерференционный блок и плоское перпендикулярно параллельному пучку контрольное зеркало, установленное . лучей, а регистрирующий узел выпол- в параллельном пучке лучей, выходя- нен в виде автоколлиматора, установ- щем из контролируемой системы, ре- О ленного так, что его оптическая ось гистрирующий узел, о т л и ч а ю - совпадает с направлением перемеще- щ е е с я тем, что, с целью воз- ния контрольного зеркала.