Способ испытания изделий на герметичность Советский патент 1987 года по МПК G01M3/40 

Изобретение относится к испытательной технике и может быть иснользовано для испытания изделий на герметичность.

Цель изобретения - повькиение точности испытаний путем микросконирования поверхности изделия в месте течи.

На чертеже представлена схема устройства, реализуюп-1его способ испытания изделий на герметичность.

Устройство содержит вакуумную камеру 1, в которой смонтированы направляю- цие 2. На направляющих 2 установлена с возможностью перемещения программно-управляемая каретка 3 с четырехкоординат- ным манипулятором 4. Манипулятор 4 связан с пультом 5 управления. В камере 1 также размещено испытуемое изделие 6. На манипуляторе 4 смонтированы электронно-лучевая пущка 7, дефлектор 8 и фотоэлектронный умножитель 9 с кристаллом-сцинтил- лятором 10. Пульт 5 управления содержит монитор 11, вход которого связан с выходом дефлектора 8. Выход фотоэлектронного умножителя 9 через усилитель 12 и смеситель 13 также связан с входом монитора П. Способ, осуществляют следуюи;им образом.

Изделие 6 помещают в вакуумную ка- меру 1. Камеру 1 откачивают до рабочего давления Р МО -I-IO тор. Заполняют изделие 6 пробным газом. Нри помонш манипулятора 4 дискретно перемендают электронно-лучевую пущку 7 эквидистантно относительно поверхности изделия 6. В MOMeiiT остановки разворачивают в растр нучок электронов, излучаемый пушкой 7, и сканируют им поверхность изделия 6.

Одновременно со сканированием формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 в базовом мас1нтабе по вторичным электронам, улавливаемым дефлектором 8. С помонхью фотоэлектронного умножителя 9 с кристаллом-сцинтиллятором 10 регистрируют в ультрафиолетовом диапазоне возбужденное первичными электро- нами излучение проникающего через течь пробного газа. Так как ультрафиолетовое

5

0

5

0

0

5

излучение возбуждается при малой плотности тока в электронном нучке, то исключается термический удар и прожиг изделия. По сигналу фотоэлектронного умножителя 9 определяют интенсивность возбужденного излучения, по которой судят о величине негерметичности, а местоположение течи определяют но расположению места излучения, изображение которого формируют на изображении поверхности изделия 6 но сигналу умножителя 9, усиленному усилителем 12 и наложенному через смеситель 13 на сигнал от дефлектора 8. Кроме того, по сигналу умножителя 9 формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 в месте течи в увеличенном масщтабе, определяя таким об разом с высокой точностью характер течи и ее геометрические характеристики.

Формула изобретения

. Способ испытания изделий на герметичность, заключаюп1ийся в том, что изделие номенхают в вакуумную камеру, заполняют его пробпым газом, сканируют поверхность изделия пучком электронов, регистрируют возбужденное электронами излучение проникающего через течь 1 робного газа и судят о величине негерметичности по интенсив нос- ти возбужденного излучения, а о местоположении течи -- по расположению места излучения на поверхности изделия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, одновременно со сканированием формируют изображение поверхности изделия по вторичным электронам, регистрацию возбужденного излучения пробного газа осуществляют в ультрафиолетовом диапазоне и формируют изображение поверхности изделия в месте течи в увеличенном масщтабе.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что сканирование поверхности изделия осуществляют дискретным переменлением источника электронов относительно изделия и развертыванием пучка электронов в растр при неподвижном источнике электронов.

Изобретение относится к испытаниям изделий на герметичность и позволяет повысить точность испытаний путем микроскопирования поверхности изделия в месте течи. Поверхность изделия 6 сканируют пучком электронов. Одновременно формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 по вторичным электро-- нам, улавливаемым дефлектором 8. Регистрируют с помощью фотоэлектронного умножителя 9 с кристаллом-сцинтиллятором 10 в ультрафиолетовом диапазоне излучение проникающего через течь пробного газа, возбужденное первичными электронами, и формируют изображение поверхности изделия 6 в месте течи в увеличенном масщтабе. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. (Л to со со СП СД