Способ испытания изделий на герметичность Советский патент 1988 года по МПК G01M3/40 

п

о

ел

4ib ГО

О

ю

оо

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний.

Цель изобретения - повышение информативности путем определения геометрии течи.

На чертеже представлена схема реализации способа испытания изделий на герметичность.

: Схема содержит изделие 1, имеюпдее коллектор 2, штангу 3 перемещения с уст- рдйством ввода в вакуум, детектор 4 ультра- фиолетового излучения, диафрагменное устройство 5, задающее переменный угол 6 поля зрения вокруг места течи 7. Направление сканирования детектора 4 ультрафиолетового излучения показано координатами 8.

Кроме того, схема включает устройство 9, возбуждающее и поддерживающее тлеющий разряд, пульт 10 управления и индикации, контрольную течь 11, накладную вакуумную камеру 12, масс-спектрометрический тече- искатель 13.

Способ испытания изделий на герметичность осуществляется следующим образом. : Изделие 1, подлежащее проверке, откачивают через коллектор 2. Первоначально давление в изделии падает до 10-20 торр. С пульта 10 управления и индикации вклю- чают устройство 9 возбуждения и поддержания тлеющего разряда. Светимость плазмы определяется плотностью остаточного газа, а максимум спектральной плотности лежит в области вакуумного ультрафиолета.

Сканируя детектором 4 ультрафиолетового излучения, исследуют внутреннюю поверхность изделия 1. Угол 6 поля зрения детектора выставляют диафрагменным устройством 5 в зависимости от сектора сканирования. Определяют координаты 8 наи- больщей яркости сканирования и по ним определяют положение течи 7 на внешней стенке изделия 1. Найденную течь 7 закрывают снаружи накладной вакуумной камерой 12, откачивают ее масс-спектрометри- ческим течеискателем 13, одновременно конт- ролируя сигнал яркости от течи 7 на пульте 10 управления и индикации. Погашение сигнала подтверждает найденную течь и одновременно с этим вызывает необходимость коррекции напряжения разряда для вновь установившегося динамического равновесия газа. Далее производят осмотр при более низком уровне натекания.

Повторяя этот цикл многократно, ликвидируют течи определенного порядка, пока

г

О

5

0

Q

5 с

не будет достигнута требуемая герметичность. Затем устройство 9 возбуждения и поддержания тлеющего разряда и детектор 4 ультрафиолетового излучения выключают, изделие 1 заполняют пробным газом и регистрируют количественные величины потоков газа масс-спектрометрическим течеискателем 13 в каждой из установленных накладных вакуумных камер 12.

Точность определения места течи 7 повышается, если произвести калибровку детектора 4 ультрафиолетового излучения по контрольной течи 11, расположенной в удобном для наблюдения месте.

После определения с помощью масс- спектрометра величины течей вновь откачивают изделие I. Поочередно открывают накладные вакуумные камеры 12, поджигают тлеющий разряд, сканируя детектором 4 ультрафиолетового излучения, определяют форму факела свечения у его основания, т. е. в зоне выходного участка течи. По наклону к поверхности изделия 1 и известной координате течи определяют отклонение течи 7 от нормали к поверхности.

Формула изобретения

1.Способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что возбуждают излучение газа, проникающего через течь в стенке изделия в вакуум, определяют интенсивность факела возбужденного ультрафиолетового излучения и место его расположения, по которым судят соответственно о величине и месте течи, отличающийся тем, что, с целью расширения информативности путем определения геометрии течи, излучение газа возбуждают путем создания в нем тлеющего разряда, регистрируют угловые координаты факела, по которым судят об угловых координатах выходного участка течи.

2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности при наличии нескольких течений, после определения величины и места течи ее герметизируют, поддерживают существование тлеющего разряда, продолжают поиск до полного устранения всех течей, разгерметизируют одну течь и после регистрации угловых координат ее факела повторно ее герметизируют, и повторяют операции разгерметизации и герметизации для всех обнаруженных течей.

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний. Цель изобретения - повышение инфор.мативности путе.м определения геометрии течи. Возбуждают излучение проникающего через течь / газа, регистрируют угловые координаты факела возбужденного ультрафиолетового излучения посредством сканирования детектора 4 ультрафиолетового излучения и по форме и наклону факела судят о геометрии выходного отверстия течи. Если течей несколько, то последовательно все они герметизируются. Затем каждую по очереди разгерметизируют и исследуют ее геометрию, а затем вновь герметизируют. Величину потока через найденные течи определяют способом накладных вакуумных ка.мер 12, используя течеиска- тель 13. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.