УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ В ВАКУУМЕ Советский патент 2008 года по МПК C23C14/50 

1. Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее подложкодержатель для герметичной установки на него цилиндрической подложки, выполненный в виде стяжной трубы со сквозными продольными пазами и системы подвода и отвода теплоносителя в виде двух коаксиальных труб, установленных внутри стяжной трубы, и двух фланцев с прокладками, установленных на стяжной трубе с возможностью вращения, и испарители, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет повышения равномерности распределения температуры на всей поверхности подложки, на наружной трубе системы подвода и отвода теплоносителя выполнены отверстия, расположенные равномерно, а их площадь равна 0,05-0,1 площади поперечного сечения промежутка между трубами, а расстояние между отверстиями равно 0,33-0,5 расстояния между наружной трубой системы подвода и отвода теплоносителя и внутренней стенкой устанавливаемой подложки.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что система подвода и отвода теплоносителя установлена неподвижно и коаксиально стяжной трубе.