Масс-спектрометрический течеискатель Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к конструкциям масс-спектрометрических-течеискателей.

Целью изобретения является расширение эксплуатационных возможностей путем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах.

На чертеже изображена схема данного течеискателя.

Масс-спектрометрический течеиска- тель содержит основную масс-спектро- метрическуто камеру 1 с подвижным маг- нитом 2, вакуумную систему, включающую последовательно соединенные через вентиль 3 с масс-спектрометричес- кой К амерой 1 азотную ловушку 4, соединенную через входной вентиль 5 с отсекаемой вентилем 6 контрольной течью 7, через вентиль 8 - с автономной масс-спектрометрической камерой 9, установленной между полюсами магнита 10, снабженного фиксаторами 11, и с диффузионным насосом 12, выход которого соединен с входом механического насоса 13. Масс-спектромет- рические камеры 1 и 9 электрически соединены через переключатели 14 и 15 с блоками 16 питания камеры и блоком 17 измерения ионного тока. В электрических соединениях автономной масс-спектрометрической-камеры 9 установлены гермопроходники 18,,имитирующие гермопроходники вакуумной камеры 19, в которой после настройки проводят испытания с применением автономной масс-спектрометрической камеры 10.

Масс-спектрометрический течеиска- тель работает следующим образом.

Перед проведением настройки к входному вентилю 5 вакуумной системы подстыковывают автономную масс-спект- рометрическую камеру 9 . Затем включают

насосы 12 и 13 и выходят на режим по уровню вакуума. По контрольной те.чи 7 подбором рехимов блока 16 и положения магнита 2 добиваются максимальной чувствительности основной

ВНИИПИ Заказ 1621/39 Тираж 777 Подписное Произв.-полигр, пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

10

)5 072652

масс-спектрометрической камеры 1. Затем переключателями 14 и 15 подключают к блокам 16 и 17 питания камеры и измерения ионного тока масс- спектрометрическую камеру 9 и добиваются ее максимальной чувствительности. При этом режимы блока 16 питания камер 1 и 9 фиксируются, а магнит 10 жестко закреплен на камере 9 в режиме максимальной чувствительности. По окончании настройки перекрывают вентиль 8, отстыковывают масс-спектрометрическую камеру 9 вместе с вентилем 8 и устанавливают последнюю в вакуумную камеру 19 с использованием гермопроходника 18. При контроле герметичности изделий режимы автономной масс-спектрометрической камеры 9 контролируются по режимам основной масс-спектрометрической камеры 1.

При этом используя одну и ту же аппаратурную базу, возможно обеспечить максимальную статическую чувствительность основной и автономной масс-спектрометрических камер 1 и 9 и повысить чувствительность системы испытаний с применением автономной масс-спектрометрической камеры 9.

20

25

Формул

изобретения

Масс-спектрометрический течеиска- тель, содержащий масс-спектрометриескую камеру с магнитом, соединенную с ней вакуумную систему, контрольную течь и блоки питания камеры и измерения ионного тока, отлиающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей путем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах, он снабжен автономной массспектрометрической камерой с магнитом, связанной с вакуумной системой с помощью разъемного соединения, и двумя переключателями, один из которых связывает масс-спектрометрические камеры с блоком измерения ионного тока, а другой - с блоком питания камеры.

Изобретение относится к конструкциям масс-спектрометрических те- чеискателей и позволяет обеспечить , расширение эксплуатационных возможностей путем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах. Масс-спектрометрический течеискатель содержит основную и автономную масс-спектрометрические камеры 1 и 9, вакуумную систему, контрольную течь 7 и блоки 16 и 17 питания камер 1 и 9 и измерения ионного тока, соединенных с переключателями 14 и 15. Настройку автономной масс-спектрометрической камеры 9 осуществляют подбором режимов блока 16 питания и положения магнита 10, которое жестко закрепляется фиксаторами 1 1 . Контроль выбранных режимов проводится по режимам основной масс- спектрометрической камеры 1. Затем автономную масс-спектрометрическую камеру 9 с вентилем 8 отстыковывают с помощью разъемного соединения и устанавливают в вакуумную камеру 19, в которой проводят контроль герметичности изделий. 1 ил. i (Л 19 Ю