Вакуумная система течеискателя Советский патент 1986 года по МПК G01M3/02 

1

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для контроля герметичности вакуумных систем и изделий, работающих при перепадах давления,

Целью изобретения является повышение динамической чувствительности испытаний.

На фиг.I изображена вакуумная система течеискателя; на фиг.2 - масс-спектрометрическая камера в разрезе.

Вакуумная система течеискателя содержит цилиндрическую масс-спект- рометрическую камеру 1, соединенные с ней диффузионный насос 2 и форва- куумный насос 3. Масс-спектрометрическая камера 1 выполнена с двумя центральными отверстиями 4 на торцевых поверхностях. Вакуумная каме- ра для размещения изделия 5 соединена с насосами 2 и 3 и масс-спект- рометрической камерой 1 и выполнена в виде штока б:-, с незамкнутой полостью 7 в центральной части для ус тановки изделия 5, фиксируемого и герметизируемого подпружиненным упором 8 и уплотнениями 9. Два шлюзовых патрубка 10 имеют каждый два кольцевых уплотнения 11, установ- ленных па концах патрубков 10 на внутренних цилиндрических поверхностях. Патрубки 10 установлены на масс-спектрометрической камере 1 со осно с ней, и каждый патрубок 10 герметично соединен с краем отверстия 4 камеры 1. Шток 6 расположен полостях масс-спектрометрической камеры 1 и патрубков 10 соосно с ними Полости 12, образованные поверхнос- тями штока 6 и патрубков 10 и кольцевыми уплотнениями i1, соединены с форвакуумньп насосом 3. Внутри штока 6 вьшолнен канал 13 дпя подвода контрольного газа. Внутри масс-спек трометрической камеры 1 установлена улитка 14 коробчатого сечения, связанная с диффузионным насосом 2. Устройство снабжено также контрольной течью 15.

Устройство работает следующим образом.

В верхнем положении штока 6 осуществляют установку испытываемого изделия 5, для чего отжимают под- пружиненный упор 8, который благодаря действию пружин герметизирует изделие 5 уплотнениями 9. После это172

го поэтапно вводят изделие 5 в масс- спектрометрическую камеру 1, для чего вначале перестают откачивать полость 12, перемещают шток 6 вниз до положения, когда изделие 5 окажется в полости 12, затем ее начинают вакуумировать и создают форвакуум, перемещают шток 6 вниз до упора. Камера 1 во время загрузки находилась в режиме высокого вакуума. Включают ионизатор не показан и, подключив контрольную течь 15, производят определение статической чувствительности течеискателя с помощью известных методик. Затем по каналу 13 в изделие 5 пускают контрольный газ и путем сравнения с сигналом от контрольной течи 15 определяют степень суммарной негерметичности изделия 5.

Извлечение изделия 5 из масс-спек трометрической камеры 1 производят в обратном порядке.

Использование данного устройства позволяет повысить динамическую чувствительность течеискателя, обусловленную исключением погрешностей, вносимых в процесс измерения самой проверяемой системой или изделием, соединительными магистралями и пр. Так, дпя течеискателя ПТИ-Ю чувствительность испытаний увеличивается с 1. 10 лмк/смв до 1 . Ю З - - I. лмк/св, что обеспечивает регистрирование течений, на 3-4 порядка меньших достоверно регистрируемых течей без применения данного устройства.

Формула изобретения

Вакуумная система течеискателя содержащая цилиндрическую масс-спек- трометрическую камеру, соединенные с ней диффузионный и форвакуумный насосы и вакуумную камеру для размещения контролируемого изделия, соединенную с насосами и масс-спектрометрической камерой, о т л и - ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения динамической чувствительности испытаний, масс-спектрометрическая камера выполнена с двумя центральными отверстиями на торцовых поверхностях, вакуумная камера дпя размещения контролируемого изделия - в виде штока с незамкнутой полостью в центрся.пьной части, а устройство

3

снабжено двумя шлюзовыми патрубками каждый из которых имеет два кольцевых уплотнения, установленных на концах патрубка на внутренней цилин рической поверхности, патрубки установлены на масс-спектрометричес- кой камере соосно с ней и каждый патрубок герметично соединен с кра

ем отверстия камеры, шток распол жен в полостях масс- спектрометрич кой камеры и патрубков соосно с ними, а полости, образованные поверхностями штока и патрубков и кольцевыми уплотнениями, соединены с форвакуумным насосом.

Изобретение относится к области контроля герметичности масс- спектрометрическим методом и позволяет повысить динамическую чувствительность испытаний. Масс-спектро- метрическая камера выполнена с двумя центральными отверстиями, на которых установлены шлюзовые патрубки с кольцевыми уплотнениями. Вакуумная камера для размещения изделия выполнена в виде штока с полостью в центральной части, установленного в полостях масс-спектрометрической камеры и патрубков соосно с ними. Полости патрубков соединены с форва- куумным насосом, а полость штока сообщена с масс-спектрометрическо й камерой, соединенной с диффузионным и форвакуумным насосами. В верхнем положении штока помещают изделие, заполненное пробным газом, в его полость перемещают шток до размещения полости в (плюзовом патрубке для создания в ней форвакуума, затем перемещают далее до размещения полости с изделием в масс-спектрометрической камере и осуществляют контроль. Исключаются погрешности, вносимые соединительными магистралями. 2 кл. iiNd о 5

(риг.1

12

фиг. г