Устройство для контроля вакуумной плотности изделий Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

жения при пробое изделий высоким дап- ряжением. Две полукамеры 1 и 2 обращены друг к другу своими открытыми торцами и герметично соединены с изделием 3 через уплотнитель 4, а электроды 5 и 6 .отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8. Посредством керамических шайб 9 и 10 электродь; 5 и 6 герметично установлены внутри полукамер 1 и 2 и соосно друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер 1 и 2. Электроды 5 и 6 имеют полости соответственно 11 и 12, сообщающие полос1

Изобретение относится к исследованию вакуумной плотности изделий электронной техники в процессе их производства.

Целью изобретения является повыше ние надежности контроля скрытых дефектов неметаллических изделий путем их обнаружения по объему изделия при пробое его высоким напряжением.

На чертеже схематично показано предлагаемое устройство.

Устройство для контроля вакуумной плотности изделий содержит две полукамеры 1 и 2, обращенные друг к другу своими открытыми торцами. Полука- меры 1 и 2 герметично соединены с изделием 3 через уплотнитель 4, а электроды 5 и 6 отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8. Посредством керамических шайб 9 и 10 электроды 5 и 6 герметично установлены внутри попука мер 1 и 2 и соосно Друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер 1 и 2 Электроды 5 и 6 имеют полости 1 и 12, сообщающие полости полукамер 1 и. 2 соответственно с системой 13 откачки, газоанализаторами 14 и источником 15 пробного газа, Электроды 5 и 6 соединены с источником 16 высокого напряжения.

Устройство работает следующим образом,

С помощью устройства контролируют вакуумную плотность, например, волоти полукамер 1 и 2 соответственно с системой откачки 13 и газоанализатором 14, и источником 15 пробного газа. Электроды 5 и 6 соединены с источником 16 высокого напряжения. Сна- внутрь полукамеры 2 подают пробный газ под давлением. При отсутствии сигнала о неплотности изделия 3 к нему подводят электроды 5, 6, к которым прикладывают напряжение. При отсутствии электрического пробоя по толщине изделия 3 оно считается годным, а при возникновении пробоя бракованным. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

конно-оптических пластин (изделий 3) для фотоэлектронных приборов.

Изделия 3, заключенные в круглые кассеты (не показаны), с уплотнителем 4 поступают в зону контроля по транспортеру. К изделию 3 с помощью дистанционно управляемого механизма перемещения (не показан) подводят полукамеры 1 и 2, которые герметизируют изделие 3 по образующей с помощью уплотнителя 4, Электроды 5 и 6 при этом отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8 .

Разрежение 10 Па в полостях полукамер 1 и 2 через полости 1I и I2 соответственно получают системой I3 откачки с форвакуумными и высоковакуумными насосами. Затем полость полукамеры 1 подсоединяют к находящейся в рабочем состоянии аналитической части течеискателя. Внутрь полукамеры 2 через полости 12 подают пробный газ (гелий) под давлением 10 Па. При наличии сигнала течеискателя о вакуумной неплотности изделия 3 полости полукамер 1 и 2 отсоединяют от системы 13 откачки и внутрь полукамер 1 и 2 подают воздух атмосферного давления. Далее полукамеры 1 и 2 отводят от изделия 3, и транспортер подает в зону контроля следующую кассету с изделием 3.

При отсутствии сигнала течеискателя о вакуумной неплотности изделия 3 к ней с двух сторон с помощью кулачкового механизма, управляемого дис.3,

танционно, подводят электроды 5 и 6, к которым прикладывают напряжение 35 кВ. При отсутствии электрического пробоя по толщине изделий 3 оно считается годным, а при возникновении пробоя бракованным, так как в изделии 3 есть скрытые неплотности. Затем внутрь полукамер 1 и 2 подают воздух атмосферного давления, полукамеры 1 и 2 отводят от изделия 3 с помощью механизма перемещения, и по транспортеру на контроль поступает следующее изделие 3.

Формула изобретения

1. Устройство для контроля вакуумной плотности изделий, содержащее две полукамеры, обращенные друг к другу своими открытыми торцами, систему откачки и газоанализатор.

Редактор О.Юрковецкая Заказ 2352/44

Составитель О.Ланко Техред А.Кравчук

Корректор И

Тираж 776Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

58464

соединенные с одной из полукамер, и источник пробного газа, соединенный с другой полукамерой, отличающееся тем, что, с целью повьше- е ния надежности контроля скрытых дефектов неметаллических изделий, оно снабжено источником высокого напряжения и соединенными с ним двумя электродами, герметично установлен- fO ными внутри полукамер соосно друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер.

2. Устройство по П.1, отличающееся тем, что электроды имеют полости, сообщающие полости полукамер соответственно с системой откачки и газоанализатором, и источником пробного газа.

Корректор И.Муска

Изобретение относится к устройствам для контроля вакуумной плотности изделий электронной техники. Целью изо6рете11ия является повьаоение надежности контроля скрытых дефектов неметаллических, изделий путем их обнару/ гозоано/гиэатору Щ /3 У Ч Ч .15 Пробила газ Отначна (Л -/ 1 а Высокое j напрй {бим 00 ел ЭО 4 9) Отначна