Измерительный ртутный зонд Советский патент 1983 года по МПК G01R1/06 

(54) юмЕРИТЕЛьный ртутаый зонд

Изобретение относится к измерительной техннке, может быть использовано в измерительных устройствах для исследования и контроля неоднородности распределения электрофизнтеских параметров по поверхности полупроводниковых и Диэлектрических материалов.

По основному авт. св. N 617726 известен измерительный ртутный зонд, состояишй из магнитной иглы и контактного устройства в виде диска из незлектропроводного несмачиваемо о -ртутью материала со сквозным аксиальным капилляром, заполненным ртутью, в которой вставлена конусообразно заостренным выступом дисковая заглушка из электропроводного и несмачиваемого ртутью материала. Со стороны, противоположной BbicTjmy, заглушка имеет конусное углубление, в которое острием упирается намагниченная мет аттическая игла tj.

Недостатком известного устройства является недостаточная Надежность работы, так как со временем количество ртути уменьшается- из-за испарения и потерь ее на исследуемой поверхности, в связи с этим, появляется зазор между заостренным выступом заглушки : и ртутью в капилляре. Это приводит к нарушению контакта между каплей ртути и поверхностью, что приводит к снижению точное-, ти измерения, регулирование прижима ртути к измеряемой поверхности затруднено из-за жесткой фиксации заглушки на диске контактного устройства.

Целью изобретения является повышение на10дежности работы путем регулирования контак та между ртутью и исследуемой поверхностью.

Поставленная цель достигается тем, что в измерительном ртутном зонде по авторскому свидетельству № 617726 зазор меищу гранями

ts , заостренного выступа глушки и ртутью в капилляре соединен с системой подачи сжатого газа через канал, который вьшолнен в контактном даске или заглушке.

На чертеже представлен измерительный ртут20ный зонд, общий вид.

Измерительный ртутный зонд состоит из контактного диска 1, выполненного из незлектропроводного и несмачиваемого ртутью матери