Измерительный ртутный зонд Советский патент 1981 года по МПК H05K1/11 G01R1/06 H01L21/66 

(54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ РТУТНЫЙ ЗОНД

I

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительных устройствах для исследования и контроля распределения электрофизических параметров иа плоской поверхности структур на основе полупроводников и диэлектриков.

Известны зонды для измерения параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов, которые состоят из диэлектрического, не смачиваемого ртутью, рабочего объема с капилляром, заполненным ртутью, контактного металлического вывода, введенного в рабочий объем. Рабочий объем уплотняется резиновой мембраной, при надавливании на которую ртуть выдавливается из капилляра и осуществляет контакт с объектом измерения 11 j.

Использование данного зонда затруднено для непрерывного сканирования исследуемой поверхности.

Известен измерительный зонд, позволяющий осуществлять измерения электрофизических параметров структур при сканировании по их поверхности, содержащий заполненный ртутью капилляр, выполненный из диэлектрического

материала, и металлическую заглущку, плотно вставленную в капилляр конусообразно заостренным выступом. При опускании зонда ртуть вдавливается выступом в капилляр 2,

Однако, вследствие несмачивания ртутью капилляра и конусной заглушки, возникает упругое препятствие перемещению ртути, ее мениск на поверхности контакта.

Недостатком известных конструкций изме10рительного ртутного зонда является плохая воспроизводимость площади контакта ртути с пблупроводниковым кристаллом при многократной установке зонда; сбрасывание капель ртути при встряхивании, ударе или резком

5 передвижении зонда. Это связано с тем, что капилляр выполняется из диэлектрического материала, несмачиваемого ртутью, при этом капиллярные силы не способствуют удержанию ртути в капилляре. Сбрасывание капель ртути

20 приводит к плохой воспроизводимости площади контакта, необходимости частой перезарядки зондового устройства ртутью, т. е. низкой надежности работы зонда.