Задатчик-стабилизатор малых и микрорасходов газа Советский патент 1987 года по МПК G05D7/01 

Изобретение относится к области автоматического регулирования и может использо1ааться в системах автоматизации технологических процессов производства полупроводниковых приборов, микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газов.

«

Цель изобретения - повышение точности задания и стабилизации расхода газа, . На чертеже приведена принципиальная схема задатчика-стабилизатора малых и микрорасходов газа.

Задатчик-стабилизатор содержит полости 1 и 2 с постоянным дросселем 3 между ними, автоматический регулятор 4 абсолютного давления газа в noлости 2 с регулирующим дросселем 5,, постоянный дроссель 6 на линии входа газа в полость 1 и автоматический регулятор 7 абсолютного давления газа в полости 1 с регулирующим дросселем

1. Задатчик-стабилизатор малых и микрорасходов газа, содержащий две полости с постоянным дросселем между ними, автоматический регулятор с регулирующим дросселем, отличающийся тем, что, с целью повыше-

8, дифманометрический измерительный преобразователь 9 с вторичным прибором25 ния точности задания и стабилизации 10, задатчики 11 и 12 автоматических расхода газа, он дополнительно снаб- регуляторов 4 и 7 и систему 13 термо- жен другим постоянньм дросселем, уста- стабилизации всех элементов задатчика- новленным на линии входа газа в пер- стабилизатора малых и микрорасходов вую полость, и другим автоматическим газа.30 регулятором с регулирующим дросселем,

Задатчик-стабилизатор работает еле-. причем автоматические регуляторы вы- дующим образом.полнены в виде регуляторов абсолютПри прохождении газа через постоян- ного давления газа в каждой полости, ные др оссели 6 и 3 и полости 1 и 2 их регулирующие дроссели установле- автоматические регуляторы 7 и 4, срав-° 5 ь1 на выходе газа из этих полостей, нивая сигналы от задатчиков 11 и 12 к постоянному дросселю между полостя- с сигналами по давлению в полостях 1 и 2, воздействуют на регулирующие Дроссели 8 и 5 и обеспечивают постоянство абсолютных давлений в полостях 1 40 и 2, т„е, на входе и выходе постоянми подключен дифманометрический измерительный преобразователь с вторичным прибором.

2. Задатчик-стабилизатор по п.1, отличающийся тем, что, постоянный дроссель между полостями выполнен в виде капилляра с отноше- - нием его длины к площади f попе2. Задатчик-стабилизатор по отличающийся тем, постоянный дроссель между поло выполнен в виде капилляра с от нием его длины к площади f п

E/f K{F,

ного дросселя 3, стабилизируя тем самым расход газа на заданном ypdBHe. Измерение расхода газа осуществляется дифманометрическим измерительным 45 речного сечения канала, равным преобразователем 9 с вторичным прибором 10., Изменение задания задатчику- стабилизатору производится с помощью задатчика 12 автоматического регулятора 7, а задание автоматическому ре- 50 гулятору 4 поддерживается постоянным и равным значению, установленному за- датчиком 11 при наладке задатчика- стабилизатора.

где Р - абсолютное давление га

ле капилляра ;

К - постоянный для данных вий работы коэффициент 3. Задатчик-стабилизатор по отличающийся . тем,

Выполнение постоянного дросселя 3 все его элементы термостабилизиро- в виде капилляра с отношением его: ваны.

ВНИИПИ Заказ 3107/42 , Тираж 863 Подписное Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

О

5

0

длины I к площади f. поперечного сечения канала, удовлетворяедим .условию

t/f KiF, где Р - абсолютное давление-таза пос ле капилляра ; К - постоянный для данных условий

работы коэффициент,

обеспечивает получение линейной расходной характеристики дросселя, а термостабилизация всех элементов заддтчика-стабилизатора зт еньшает влияние изменения температур газа и окружающей среды на точность задания и стабилизации расхода газа.

Формула изобретения

1. Задатчик-стабилизатор малых и микрорасходов газа, содержащий две полости с постоянным дросселем между ними, автоматический регулятор с регулирующим дросселем, отличающийся тем, что, с целью повыше-

5 ния точности задания и стабилизации расхода газа, он дополнительно снаб- жен другим постоянньм дросселем, уста- новленным на линии входа газа в пер- вую полость, и другим автоматическим 0 регулятором с регулирующим дросселем,

ного давления газа в каждой полости, их регулирующие дроссели установле- ь1 на выходе газа из этих полостей, к постоянному дросселю между полостя-

ми подключен дифманометрический измерительный преобразователь с вторичным прибором.

2. Задатчик-стабилизатор по п.1, отличающийся тем, что, постоянный дроссель между полостями выполнен в виде капилляра с отноше- - нием его длины к площади f поперечного сечения канала, равным

E/f K{F,

ия канала,

речного сечения канала, равным

где Р - абсолютное давление газа пос ле капилляра ;

К - постоянный для данных условий работы коэффициент. 3. Задатчик-стабилизатор по п.1, отличающийся . тем, что

Изобретение относится к пневмоавтоматике и может использоваться в системах автоматизации технологичес ких процессов производства полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газа. Принципиальная схема задатчика-стабилизатора малых и микрорасходов газа представлена на чертеже. Задатчик-стабилиза- тор содержит полости 1 и 2 с постоянным дросселем 3 между ними, автоматический регулятор 4 давления газа в полости 2 с регулирующим дросселем 5, второй постоянный дроссель 6 на линии входа газа в полость 1 и второй автоматический регулятор 7 давления в полости 1 с регулирукнцим дросселем 8, дифманометрический преобразователь 9 с вторичным прибором 10, задатчики 11 и 12 автоматических регуляторов 4 и 7 и систему 13 термоста- :билизации 1 всех элементов. Постоянный дроссель 3 выполнен в. виде капилляра с соотношением его длины к площади поперечного сечения канала., обеспечивающим линейную расходную характеристику этого дросселя. 2 з.п.ф-лы, 1 ил. (Л