Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1990 года по МПК F04D19/04 

10

15

20

11351 299

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям мо- лекулярньгх вакуумных насосов, и является усовергаенствонанием изобретения по авт.св. № 1155027.

Целью изобретения является улуч шение характеристик насоса,

На фиг. 1 представлен насос, про- дольный .раз1 ез;на фиг. 2 - зона в.асьгоания насоса,в увеличенном масштабе; на фиг. 3 - вид А на фиг, 2.

Молекулярный вакуумный насос со- дер;мт статор 1, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами 2 переменной глубины, и размещенный по оси статбра 1 барабанный ротор 3, Статор 1 и ротор 3 имеют со с 1 ороны вс сывания зквидистант- ные кониче.ские участки А и 5, су жаюциеся по ходу газа и состоящие. каждый из двух сопряженных между собой конических поверхностей, первая из которых имеет конусность,меньшую, чем вторая, причем на коническом участке ротора выполнены спиральные пазы 6, а Участо1с со спиральными пазами 2 статора 1 имеет дополнительную коническую поверхность 7, су™ жающуися по ходу газа.

Ротор 3 и статор 1 снабжены эК видистантными цилиндрическими участками 8 я 9, Эквидистантные участки ротора Эй статора 1 имеют длину,составляющую 0,20-0,25 от длины ротора, а дополнительная коническая поверхность 7 конусность 10-ЗП°, В роторе 3 выполнены сквозные прямоля- нейньш каналы 10, каждый иэ которых расположен нормально к лииии симметрии спирального паза 6 ротора 3 и под углом к его торцовой поверх25

30

зо

пр 3 от сы 6 ст ст ми со до но па та

ли ро чт чи ви и мо ст от тр по

Ф

ав щ

«д НИ . ст же ки ие

40 ка но па во ло

иосчи равным углу наклона спиральны,;: пазов 6.

Насос работает следующим образом. ..

После создания в полости насоса предварительного разрешения ротор 3 приводится во вращение. Молекулы откачиваемого газа со стороны всасывания попадают в спиральные пазы 6 и каналы 10, а часть их взаимодействует с цилиндрическим участком 8 статора 1 и коническими поверхности ми статора на участках 4 и 5 После соударений молекулы попадают в зону дополнительной конической поверхности 7 статора 1 и по спиральным пазам 2 отводятся .на сторону нагнетания насоса.

Наличие сквозных каналов 10 увеличивает поверхность всасывания ротора 3 и позволяет облегчить ротор что дает возможность повысить его число оборотов. Цилиндрические эквидистантные участ1си 8 и 9 ротора и статора снижают обратный поток молекул со стороны нагнетания на сторону всасывания. В результате откачные характеристики насоса (быстрота действия и степень сжатия) пойьшаются.

Формула изобретени М

Молекулярный вакуумный насос,по авт.св. № 1155027,. отличающий с я тем,что, с целью .улучше«д НИЛ откачных характеристик,ротор и . статор со- стороны всасывания жены эквидистантными . цилиндрическими участками, а в роторе выпол иены сквозные прямолинейные каналы

40 каждый из которых расположен нормально к линии симметрии Спирального паза ротора .и под углом к его торцовой поверхности,равным углу нак- лона спиральных пазов ротора.

Фиг. 2

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Ротор 3 и статор 1 со стороны всасывания имеют эквидистантные цилиндрические участки 8 и 9. Казвдый из сквозных прямолинейных каналов 10, вьшолненных в роторе 3, расположен нормально к линии . симметрии спирального паза ротора и под углом к его торцовой поверхности, равным углу наклона пазов. Наличие каналов 10 увеличивает поверхность всасывания ротора и позволяет облегчить ротор, что дает возможность повысить его число оборотов. Участки 8 и 9 снижают обратный поток молекул со стороны нагнетания на сторону вса- сьшания. 3 ил, 10 д 8 с & (Л САЭ сл IwA 1C со со «ч:

Bad и

Составитель В.Кряковкян Редактор Г.Наджарян Техред М.Ходанич Корректор Л.Пилипенко

;3аказ А347 Тираж 499 Подписное

ВНЙИПИ Государственного 1 6митета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-ЗЗ, Раушская наб., д. 4/5

П11)оизводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектнаяj 4

Pus. у