измеряют ве, 1ичи11Ы иптеисивностеи отраженного от юверхноети детали 21 света д:1я этих двух поляризованных нучков, онреде- ляют отнон1ение их интенсивностей д.чя разных yiMOB надения светового пучка на конт- ро.чируемую деталь 21 и эталон 9, световой нучок расщепляют на два пучка со взаимно-ортогональной ноляризацией, один из которых направляют иа контролируемую деталь 21, а другой - на эталон 9, и оиреде- .1ЯЮТ отнон1ение интенсивности Р-ноляризо- ванного светового нучка, отраже-нно1 о от к()1ггролируемой дета.чи 21, к Н1ггеиси |ости
1
Изобретение относится к из.мерггге.льпой технике, связанной с оценкой качества но- верхности испытуемы.х огггических дета.мей на ociiOBe рефлектометрического измерения иараметров отраженного от поверхности де- га.чи света.
изобретения является иовьипение производительности и точности контроля качества обработки поверхности оптических дета л eii.
На (|1иг. 1 изображепа приппипиа.тьпая схема устройства для осуи1,ествления способа бескоптактного контро.тя качества обра- боткн поверхности О1ГГ11ческих деталей; иа ()пг. 2 то же, вид сверху.
Устройство д.чя осуп1ествлепия способа бескопlaKTHOi o конт)о, 1Я качества об)аботки новерхности оптических деталей содержит источник света I не показан), двоякопре.чом- ляюп1ую призму 1, клииовидпый дефлектор 2, ибкую ленту 3, диск 4, фотоири- емипк 5, крошптейи 6, диск 7, столик 8, эта.лоп 9, ;1епты 10 и И, диск 12, столик 13, фотоприемпик 14, кропп тейн 15, диск 16, ,1пмб 17, дисковый модулятор 18, л li и га Tc. i h 19, п р и е м и о - ре г ист р и р у ю nui и узе.-i 20.
SiSo и NiX-j - оси враи1епия столиков 8 и 13 соответствеипо. Оптичеекая ось двоякопре;1омляюп1ей призмы I обозначена ОО .
Первый гоиио.метр включает столик 8 и кроннггейн 6 с фотоприемником 5, а второй - - сто.чик 13 и крои1птейп 15 с фотоприе.мни- ко.м 14,
Осупгествляется способ с по юп1ью 1рсд- .чоженного устройства следую1Ц1 м образом.
На столики 8 и 13 устанавливают эталон 9 и контролируемую деталь 21. Поворотом призмы 1 вокруг оси ОО устанавливают в одном пучке плоскость поляризации света в П-плоскости контролируемой детали 21, иа которую он падает.
5-11О,1Яризс)ванного светового пучка, отражен- HOi o от эталона 9 для разных yr:ioB падения, новорачивают два пучка со взаимно ортогопальной поляризацией па 180°, определяют отпоп1ения интепсивпости S-поляри- зоваиного светово1Ч) пучка, отраженного от контролируемой детали 21, к интенсивности Р-по, 1Яризованно1ч:1 светового нучка, отра- женн()1Ч) f)T эта.чона 9 д.ля тех же уг.чов падения света, опредс.ляют максима.чьную разность этих двух отнои|ений и с учетом эч ой разности оценивают качество обработки. 2 ил.
При этом направление поляризации второго пучка света совпадает с S-плос- костью эталона 9. Затем поворачивают призму 1 и измеряют отпо1пепие ин- 5 тенсивности S-поляризованного светового нучка, отраженного от контро.чпруемой дета.чи 21, к И1ггенсивност|1 Р-но,чяризованно- го нучка, отраженного от эта.чона 9. За счет .чент 3 и 11 ири работе двигателя 19 обеспечивают поворот в противоио.чожпых наиравлениях дисков 4 и 16 иа оди па ковы и уго.ч, в ра.за бо,чьи1ий, чем уго.ч поворота дискг)В 7 ,и 12 (и связапных с пи- ми сто.чиков 8 и 13). Такое соотнон1ение уг,чов иоворота сто.чиков 8 и 13 и крон5 штейнов () и 15, на которых устаиов.че- ны фотоприемники 5 и 14, обеспечивает в процессе скани)ования yi-.чов надепия попа- дапие оч ражениых оч коьггро.чирусмо) детали 21 и эта.чона 9 пучков сиета соответственно на фотоирием11 1кп 5 п 14, сигна.чы
0 KO4 opijix Г1осту 1ают в приемпо-регистрирую- пшй узе.ч 20, оиреде.чяюшее cooTHonienne пн- теисивностей отраженных оч дета.чи 21 и эта- сЧОна 9 по.чяризованпых световых н чков. Поляризуюч световой пучок, ориептпруют
5 плоскость по.чярпзацпи светового пучка в двух взаимпо перпендмку.чярпых Р- п S-na- прав.чяющих, направляюч свеч оной пучок на контролпруемую дета.чь 21 li эта.чоп 9 иод разными углами надения, измеряют ве,ч и чины интенсивиостей отра/1 еипо1 о от ийверх0 ности дета.чи 21 света д.чя этих двух по- ляризованиых пучков, опреде.чяют cooTiioine- ние их интеисивиостей д.чя разных углов падения светового пучка па коптро.чируемую деталь 21 и эталоп 9. Световой пучок рас- пхепляют иа два пучка со взаимпо ортого5 нальной поляризацией один из которых направляют на контролируемую деталь 21, а другой - на эталон 9 и определяют отнои1ение интенсивности Р-иоляризован- ного светового пучка, отраженного от контро.чируемой детали 21, к интенсивности S-поляризованного светового пучка, отраженног о от эта/юна 9, для разных г- лов падения, поворачивают два пучка со взапмпо ортогональной поляризацией на 180 определяют отношения пптенсивпости S-no- ляризованного светового пучка, отраженного от эталона 9, для тех же углов падения света, онреде, 1яют макспмальную разность этих двух отношений и с учетом этой разности оценивают качество обработки.
Формула изобретения
I. Способ бесконтактного контро.чя качества обработки поверхности оптических дета- .лей, заключающийся в том, что ио.ляризуют световой пучок, ориеитируют п,1оскость но.1я- ризации светового пучка в двух взаимно перпендикулярных Р и S-направлениях направляют световой пучок на контро/шруе- мую деталь и эталон иод разными упами иадеиия, измеряют величины интепспвностей отраженного от поверхности дета. in свега д, 1я этих двух п(),1яри:к)ванных пучков и оп- реде. 1яют отнон1епие их пптенсивпостей д.1я разных углов надеппя светового пучка па контролируемую дета,1ь и эта. юи, ио которому судят о качестве обработки иоверх- иости дета. Ш, отличающийся тем, что, с ие- ,1ью повышения ироизводительности и точности контро.тя, световой нх чок |1асн|е 1, па два пучка со взаимно ортогопа.чьпой поляризацией, один из которых наира1;. 1яют на контролируе.мую дета,1Ь, а на эталон, и определяют отношення интеисив( оставите, , |. J ||)Г1.ч()в:1 Техред II. Beni. CК()|1Г)ек1 о; .
Тираж 677Подписное
В11ИМГ1И Госуларственногп комитета СС.С Р ио ле,( n;i u ;HSx iinii м открытий
I 13035, .Москва, Ж -35, i- a шекая иаб.. д. 45 Проязводственно-по, 1111-рафическое предприятие, i. Хжгород. .-|. Проем-пая, -
ности Р-но,1Ярпзонанно1 о светового пучка, отраженного от коптро.шруемой дотл.ш. к интенсивности 5-но. 1яр113ова 1но1 о с вс го но го нучка, отраженного от эта.юна. д.чя р;мпьгх уг. юв падеппя, поворачивают два пучка со взаимпо ортогона.чьной но.чярпзшикм на оирсде, 1яют отпон1е1П1я интенсивпосги S-no- .чяризованиого светово1 о пучка, отд ажопиого от контролируемой дота.HI, к интеисшяюсгп Р-полярнзованно1 о CBCTOBOI O пучка, отражеп- ного от эта. юна д.1Я тех же yiMon падения света, опреде. 1яют макснма. разность этнх двух отпошеппй п с эгой разностн оценивают качест1 о обработки
2. Устройство бесконтактпо|-о контроля качества обработки поверхности (и гичсскпх дета. 1ей. содержащее псгочппк свсга и гониометр, вк. почаюший сто.шк и кропиггейи с фо- топриемпиком, устапонле11 Г| 1е с возможпос- тью поворота относите.Hiiio оси сго.1ика. 0 отличающеес.ч тем, что, оно 1-паб/1 еио ноо- ледовате. 1ьно распо.южсипыми по ходу светового пучка двоякопре.. призмо11, -станов.1еппой с возможпостыо вращения р.округ осп псточннка света. к..човидиым де(). 1ектором и дисковым мод лятором. вторым гониометром, ана. югн шым пер Вому и устаиов.лепным так, что ось 1 ово|1ота его сто.лика пара,ч. 1е, 1ьна оси BiianieiniH сго.шка нервого гоннометра, н дискамн. па Koi O Miix установ.чены сто, 1пкн и Kiionnrreiinhi с tjioTo ириемникамп обоих гониометров и которые кииематнчески связаны собой с передаточным OTnonjeniicM 1:2.
/4
5
0
фиг 2
Изобрег(М1ие oi носится к измерительно ге.хннке, связанной с оценкой качества иовер.хностн испытуемых онтичсч ких .чс талей на основе рефлектометрическпю ii.uie- реиня параметров отраженного от поверхности детали света. Це.1ыо изобретения яв- . 1яется повышение нронзводшхмьностн и точности коит|1о,1Я качесгва обрабогкн поверхности оптических дета.1ей. N cTpoiicTiid д.я реа. шзацин сиособа бесконтактного конг)о. качества обработки новерхносги оптических дета.1е11 содержит источник света (на черге- же не показан), двояконреломляюшую нрнз- му I, К.1ИНОВНДНЫЙ дефлектор 2, гибкую .тенту 3, диск 4, фотоирнемннк 5, кронштейн 6, диск 7, cTO. iHK 8, эта.юн 9, .HMI- ты И), II, диск, сто, 1нк 13, фотонрием- ник 14, кронштейн 15, днск, .шмб 17, дисковый модулятор, двигате.1ь и нрнемно-ре- гнетрирующий узе.ч. По.тярнзуюг световой пучок ориентируют н.юскосгь ио.1ярнзац|1и светового пучка в двух взаимно нерненднк}- лярных Р II 5-наг1рав.1еннях. направ.ипо световой пучок на контро.шруомую дета.и. 21 и эталон 9 под разными уг.тамн иа.чення. /4 S (Л со О ГчЭ ts2 О фигЛ
