Известны способы нэмерений деталей с помощью пптерфсролциопиых фороэлектрипеских устройств, которые дают абсалютпыс значения искомых величин в .длинах световых коли.
Осибеипосгь предлагаемого , способа, по сравпеиню с звестпымн способами определо;г; я размеров деталей с помощью интерферепппонпых фотоэлектрических датчиков, заключается в том. что регистрируют нпсло интер(|)ереии11()нных полос, прои1ед11П1 через щели диафрагмы при перемеш.еппп 1измор1ительиого наконечника аатчика от упора до эталошюп детали и от того же упора до контролируемо детали, а затем по 1 азност1 чисел зарег истр11ровач1ных полос -определяют разность |)азмерО1 срапниипемых деталс, ныраже1П1ую п д.пинах световых полн. Эга особеннпсть обеспечивает повышение скор(ст)1 измеренги.
На (|иг. 1 нз1С1б)ажена схема датчика для осун1естп.1еи11я предложеппогп способа; nia фиг. 2 и 3-варианты щелевых диафрагм; па (риг. 1-по.чс г.реппя Hj)H6opa при диафрагме, изображеипо па фи 2.
Предложенный способ может осуществляться датчиком выполненным по следу1он1е1 схеме. Элект)нческаЯ лампа / через копдепсо) 2 и светофильт)- 3 ccneniaei повсрх;ность АЛ пластины 4. которая разделяет поток спета на два нучка. Один пучок, пройдя П1елевую диафрагму .) п KOMTieHcaTop 6, падает на )кало 7, которое жестко связано с нзмерите.мьным накоиемникпм 8 при помощи стержня и вмгпе с ним может переменгаться вдоль оси от упора 9. Другой пучок света падает на зеркало W, которое укреп.пено па шпилях //и может па н:их поворачиваться.
Пучки евета, отражепные зеркалами, при небольи ои разности хода интерферируют в плоскостн АА и частично проходят вдоль ширмы 12 с зеркалом 13, которые разделяют иитерфере11иионную картину , (фИГ. 4) на две части: верхнюю-д,1я визуального наблюдения полос
при lUKTpniusC дптгика и нижнюю-д.чя pei иг.трании полос фотоэлементом 14 при перемещении измерительного 1гак.пнечника.
При осушеств.юнни Г1реллож1Ч1н)Го способа регистрируют число интерференцнппшых полос, прошедших мере. щели диафрагмы при nepcMCuieiuinx этого наконечника от унора до эталонной детали н от того же упора до контролируемой детллн. чЗатем но разности чисел зарегистрированных полос определяк т разность размеров сравниваемых деталги, ныражонную н длинах световых волн.
II 1 с я м с |- и .) I) П р о -1 е и и м
Снособ измерения размеров деталей с помоншю интерференционных 15ютоэлектрических датчиков, отличающийся тем, что, с целью повышения скорос.ти измерепип, регистрируют число интерференционных полос, пропкмпгих через щели диафрагмы при переменхенин измерительного иакопчечника датчика от упора до эталонной детали и от того же упора до контролируемой детали, и по разности чисел зарегистрирораниых полек- опрелеляют разность «размеров сравниваемых детален, выраженную в длинах световых волн
: -. ,N . 1
