Фотоэлектрический способ для обнаружения дефектов оптических поверхностей Советский патент 1961 года по МПК G01B11/30 

Известны способы и устройстаа для обнаружения дeфeктoI оптических .пОВерхностей, ссноза}П ые на .использовании фотоэффекта и темного поля. Недостаток подобных способов ;и устройств состоит в том, что чувствительность устройства, получаемая артг малых геометрических размерах дефекта, мала.

В описываемом способе указанный .недостаток устранен тем, что исследуемая пов-ерхность сканируется оптической системой темного поля световым пятном, р-азмер которого соизмерим с размером дефекта исследуемой поверхности.

На чертеже изображена с.хема устройства по описываемому способу. Здесь: / - источник света; .2 - конденсор; 5 -д} афрагма с круглым отверстием; 4-микрообъектив; 5 - зеркало; 5 -конденсор с апертурой 0,8; 7 - ко-нтролдаруемая поверхность; 5 -двигатель; 9, 10, 11, /2 .и / -шестерни редуктора; / -винт; /5 - гайк-а; /5-фотоумнож1итель.

Источник света 1 конденсором 2 проектируется -в плоскость диа фрагмы 3, которая находится в фокальной плоскости микрообъектива-/. Вышедший из Микрообъектива параллелы1ый света зеркалом 5 направляется на конденсор 6, которьгй дает и: ображение, светящегося отверстия диафрагмы 3 на контролируемой. поверхност1И 7. Пучок света, зеркально отраженный от контролируемой поверхности, во: зраш,ается обратно по прежнему направлению и не.попадает на катод фотоумножителя. Свет, рассеянный дефектами контролируемой ловерхгх).сти 7, в пределах апертуры /7 собирается конденсором 6 и напратяог ся на катод фотоумножителя 16. Диаметр оветя-щегося пятна на KOiiTролируемой поверхности равен 0,2 мм. Развертка .кхжтролируемсГ; поверхности осуществляется механическим путем по спирали Архимеда, так как дзигатель 8 пр.иводит во вращение контролируемую лета.1ь и

одиоирсмсано перемещает «е относительно части устройства.

Чувствительность описываемого устройства такова, что амллнтуда импульсо-Б от царалины шириной 3 мк превышает уровень шумоа фотоумножителя 3-10 раз, в зависимости от микроструктуры царапины.

Предмет изобретения

Фотоэлектрический сггособ для обнаружошя дефектов оитичсскиХ поаерхностей путем измерения -коэффициента стр ажеиня поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, исследуемая поверхность сканируется оптической системой темного поля световым пятном по размерам, соизмеркмЫМ с дефектами исследуемой поверхности..

///777777,

кеподБижной оптической