Вакуумный эрозионный плазменный ускоритель Советский патент 1987 года по МПК H05H1/24 

в виде кольца или им может служить корпус вакуумной камеры. При включении источников питания и подачи газа за счет сужения экрана давление в полости между катодом и экраном возрастает до значения, при котором в нем возникает интенсивный тлеющий разряд (1-5--10 °мм рт.ст.). Так как плазма непосредственно омывает катод ускорителя, происходит дуговой пробой между катодом и пусковым электродом от источника питания, а затем между катодом и анодом от источника пита1

Изобретение относится к генераторам и ускорителям плазмы эрозионного типа и может быть использовано в физических исследованиях и технологических процессах нанесения покрытий.

Цель изобретения - повышение надежности запуска ускорителя и снижение напряжения и электрической мощности инициирующего запуск разряда. .

На чертеже изображен плазменньм ускоритель.

Ускоритель содержит катод 1, выполненный из материала, переводимого в плазменное состояние, анод 2 в виде конического раструба, источник 3 питания постоянного тока, соединенный с катодом и анодом. Коаксиально с зазором относительно катода 1 размещен цилиндрический экран 4, электрически развязанный с катодом изолятором 5. Экран 4 через изоляцию 6 соединен с. анодом 2. На аноде через изоляцию 7 установлен пусковой электрод 8, кото- рьй может быть выполнен в виде кольца или им может служить корпус (не показан) вакуумной камеры, который также монтируют через изоляцию 7 на аноде 2.

Электрод 8 через источник 9 постоянного тока соединен с катодом 1. В изолятор 5 встроен патрубок 10 для подвода газа в полость между катодом 1 и экраном 4. Электрод 8 подключен к заземлению 11.

Устройство работает следующим образом.

ния, после источник питания пускового электрода отключается. Повышение надежности запуска обусловлено тем, что напряжение между пусковым электродом ускорителя и его катодом подается постоянно до его запуска, а давление при подаче газа меняется в широких пределах. Поэтому всегда наступает момент, когда для существования интенсивного тлеющего разряда у катода создаются благоприятные условия. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Включают источники 3 и 9 питания постоянного тока. Через патрубок 10 подают пор1р ю газа (обычно около 1 см ). За счет сужения экрана 4 давление в полости между катодом 1 и экраном 4 возрастает на некоторое время до значения, при котором в нем возникает интенсивный тлеющий разряд (1-5-10 мм рт.ст.). Он характеризуется высокой степенью ионизации газовой плазмы (плазменная струя 12). Так как плазма непосредственно омывает катод 1 ускорителя, происходит дуговой пробой между катодом 1 и пусковым электродом 8 от источника 9 питания, а затем между катодом 1 и анодом 2 от источника 3 питания, после чего источник 9 питания отключается.

Использование корпуса вакуумной камеры в качестве пускового электрода обеспечивает повышение надежности запуска в результате того, что напряжение между пусковым электродом ускорителя и его катодом подается постоянно до его запуска, а давление при подаче (порционной) газа меняется в широких пределах, поэтому всегда наступает момент, когда для сущест

вования интенсивного тлеющего разряда У катода создаются благоприятные усовия.

35

Формула изобретения

1. Вакуумный эрозионный плазменный ускоритель, помещенный в вакуумную камеру, содержащий систему двух электродов, один из которых, катод, выполнен из материала, переводимого в плазменное состояние, коллектор подачи газа и пусковой электрод, отличающийся тем, что, с целью повьппения надежности запуска ускорителя и снижения напряжения и электрической мощности инициирующего запуск разряда, он снабжен дополнительным металлическим экраном и изолятором, образующим совместно с боРедактор В. Бугренкова

Составитель В. Спиридонов

Техред М.Ходанич Корректор М. Максимишинец

Заказ 6009/57Тираж 799 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

КОБОЙ поверхностью катода коллектор подачи газа, причем металлический экран размещен коаксиально катоду и имеет сужение на уровне торца катода, обеспечивающее при подаче порции газа в полость коллектора создание в ней давления, необходимого для возникновения интенсивного тлеющего разряда. 2. Ускоритель по п.1, отличающийся тем, что пусковым электродом служит корпус вакуумной камеры.

Изобретение относится к генераторам и ускорителям плазмы.эрозионного типа и может быть использовано в физических исследованиях и технологических процессах нанесения покрытий. Цель изобретения - повьшение надежности запуска ускорителя и снижение напряжения и электронной мощности инициирующего запуск разряда. Вакуумный эрозионный ускоритель содержит .катод, переводимый в плазменное состояние, анод в виде конического раструба, источник питания постоянного тока, соединенный с катодом и анодом. Коаксиально с зазором относительно катода размещен цилиндрический экран, электрически развязанньй с катодом изолятором. Экран через изоляцию связан с анодом. На аноде установлен через изоляцию пусковой . электрод, который может быть вьшолнен (Л 00 СП 00