Способ определения относительных перемещений Советский патент 1988 года по МПК G01B9/21 

со

О5 00

.4;

13

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при проведении когерентно-оптических интерференционных измерений на основе спекл-интерферометрии, ; Цель изобретения - повьшение производительности определения относительных смещений путем устранения чувствительности интерферограммы сдвига к абсолютным деформационным перемещениям.

На чертеже изображена структурная схема устройства для осуществления предлагаемого способа.

Устройство состоит ИЗ-спекл-интерферометра А сфокусированного изображения, блока В оптической пространственной фильтрации и интерферометра С сдвига. Спекл-интерферометр А сфокусированного изображения содержит объектив 1 и позиционер 2, в который установлена фотопластинка 3. Позицией 4 обозначен исследуемый объект. Блок Б оптической пространст венной фильтрации содержит фотопластинку 3 с зарегистрированной на ней спеклограммой объекта 4, которую переносят в блок В из спекл-интерферо- метра А, позиционер 5, конфокальные линзы 6 и 7 и пространственный фильт 8. Интерферометр С сдвига содержит систему 9 сдвига по пространственным координатам световой волны и регистрирующую среду 10.

Способ осуществляют следующим образом.

Освещают объект 4 когерентным излучением. В спекл-интерферометре А на фотопластинке 3 регистрируют спек лограмму сфокусированного изображения объекта 4 в первоначальном состоянии, затем фотопластинку 3 вынимают, подвергают фотохимической обработке и устанавливают в позиционер 5 блока В оптической фильтрации. Освещают спеклограмму на фотопластинке 3 плоской волной когерентного излучения и в восстановленной световой

волне осуществляют посредством фильт

ра 8 в фокальной плоскости линзы 6 прострайственную фильтрацию, выделяя один отдельный дифракционный порядок После оптической фильтрации восстановленные соседним участками спек- лограммы волны направляют в интерферометр С сдвига, в котором С1|стема 9 осуществляет сдвиг световых волн, приводящий к совмещению в плоскости

5

0

5

0

5

регистрирующей среды 10 волн, восстановленных соседними участ.ками спеклограммы. Затем первзто спеклограмму убирают и после воздействия на объект 4 в спекл-интерферометре А регистрируют спеклограмму сфокусированного изображения объекта 4 в измененном состоянии. После проведения фотохимической обработки полученную спеклограмму устанавливают в блоке В оптической фильтрации, освещают ее и выделяют тот же, что и для первой спеклограммы, дифракционный порядок. После оптической фильтрации восстановленную волну направляют в интерферометр С сдвига, где осуществляют совмещение волн, восстановленных с соседних участков спекло- г,раммы, в плоскости регистрирзтощей среды 10. После этого осуществляют фотохимическую обработку регистрирующей средь: и полученную двухэкспози- ционную спеклограмму освещают плоской волной когерентного излучения . Осуществляют пространственную фильтрацию восстановленной волны, в результате чего ползгчают интерферограм- му сдвига, несзтцую информацию только об относительных деформационных перемещениях. Осуществляют по известным методикам расщифровку интерферограммы сдвига и определяют величину относительных перемещений точек поверхности диффузно отражающего объекта 4.

Формула изобретен

и я

Способ определения относительных перемещений точек поверхности диффузно отражающего объекта, заключающийся в том, что освещают объект когерентным излучением, получают двухэкспози- ЦИОНН5ТО спеклограмму, восстанавлива

ют с нее световую волну, осуществляют пространственную фильтрацию восстановленной волны, фиксируют интерференционную картину, по которой определяют относительные перемещения, отличающийся тем, что, с целью повьппения производительности, при получении двухэкспозиционной спеклограммы регистрируют спеклограмму объекта в первоначальном состоя-. НИИ, освещают ее плоской волной, осуществляют пространственную фильтрацию восстановленной волны, производят сдвиг отфильтрованной волны по пространственным координатам и

1366874

. .-«

записьшают ее на регистрирующей ере- становленной волны, производят сдвиг

де, регистрируют спеклограмму объек- восстановленной волны по пространст- та в измененном состоянии, осуществ- венным координатам и регистирируют ляют пространственную фильтрацию вое- ее вновь на регистрирующей среде.

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение производительности определения относительных перемещений путем устранения чувствительности интерферограммы сдвига к абсолютным деформационным перемещениям. На отдельные фотопластинки регистрируют спеклограммы Сфокусированного изображения объекта в начальном и измененном состояниях. Каждую из спеклограмм восстанавливают плоской волной, осуществляют фильтрацию одного и того же порядка дифракции и. производят совмещение и запись на одной регистрирующей среде волн, восстановленных с соседних участков . спеклограммы. После проведения фотохимической обработки полученную на регистрирующей среде двухэкспозици- онную спеклограмму освещают плоской волной и, осуществляя пространственную фильтрацию восстановленной волны, Q получают интерферограмму сдвига. Рас- S шифровав по известным методикам пoяv- ченную интерферограмму, определяют относительные перемещения. 1 ил. (Л

10