Сверхвысоковакуумный затвор Советский патент 1988 года по МПК F16K51/02 F16K3/00 

11

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для герметичного перекрытия сверхвысоковакуумных коммуникаций.

Целью изобретения является повышение герметизации за счет устранения оксидной пленки на поверхности уплотнителя в открытом положении затвора при помощи подачи энергии от источника питания.

На фиг.1 схематически показан сверхвысоковакуумный затвор с пневмоприводом в закрытом положении со снятым фланцем; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б . на фиг.1 (затвор в открытом положении); на фиг.4 - то же, с зкраном, размещенным мезаду катодом и корпусом на фиг.5 - то же, с изолятором, размещенным между уплотнителем и запорным элементом; на фиг.6 - то же, с заземленным уплотнителем.Затвор (фиг.1 и 2) состоит из корпуса 1 с седлом 2, механизма 3 пере- . мещения запорного элемента 4 с металлическим уплотнителем 3, фланца 6 с нажимным диском 7, пружинных упоров 8 и катодного узла 9.

.Катодный узел (фиг.З) состоит из катода 10, который закреплен на изоляторе 11 и соединен через герметичный электрический ввод 12 с источником 13 электрического питания. От источника 14 постоянного напряжения через электрический ввод 12 подается напряжение на катод 10 и уплотнитель

Затвор работает следующим образом. Затвор закрыт. При его открывании прекращается подача воздуха от пневмопривода и под действием пружинных упоров 8 нажимной диск 7 поднимается. При этом за счет механизма 3 перемещения происходит приподнятие запорного элемента 4 с уплотнителем 5 над седлом 2 и его поворот для открывания проходных отверстий. По окончании поворота контактная поверхность уплотнителя 5 запорного элемента 4 располагается напротив катода 10.

Затвор открыт.

Перед его закрытием включаются источники 13 и 14 питания, обеспечивая нагрев катода .10 и создание ускоряющего напряжения между катодом

и уплотнителем 5. По окончании обработки контактной поверхности уплотнителя источники 13 и 14 питания отключаются, включается пневмопривод и происходит закрытие затвора за счет

перемещения нажимного диска 7 в обратном направлении. Формула изобретения

1. Сверхвысоковакуумный затвор, содержащий корпус, запорный элемент

с металлическим уплотнителем, седло и привод, отличающийся тем, что, с целью повышения герметизации за счет устранения оксидной пленки, в корпусе напротив уплотнителя запорного элемента в открытом положении затвора размещен катод, по форме эквидистантный контуру контактной поверхности уплотнителя, причем уплотнитель и катод соединены с ис

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для герметичного перекрытия сверхвысокова- куумных коммуникаций. Цель изобретения - повышение надежности и уменьшение усилия герметизации путем устранения оксидной пленки на поверхности уплотнителя в открытом положении затвора при помощи подачи энергии от источника питания. В затворе с запорным элементом 4 с металлическим уплотнителем, взаимодействующим с седлом 2, в корпусе 1 размещен катод, входящий в катодньй узел 9. Катод выполнен по форме эквидистантным поверхности уплотнителя 5, при этом катод и уплотнитель соединены с источником питания. 2 з.п. ф-лы, 6 ил. i (Л со Nl со со сд СП

5. В варианте затвора, представленно на фиг.4, между катодом 10 и корпусом 1 на изоляторе 11 размещен экран 15, соединенный с тем же выводом источника 14 постоянного напряжения, что и катод 10 (фиг.5), между запорным элементом 4 и уплотнителем 5 размещен изолятор 16.

точником питания,

З. Затвор по П.1, отличаю- Щ и и с я тем, что между запорным органом и уплотнителем размещен изолятор.

/ 5

Л/л/gju&z

ptjf.

Б-Б

puf.5

(рие.6

Б-Б