Устройство для измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали Советский патент 1988 года по МПК G01B11/255 

Изобретение (относится к и змсри- тельмой технике и может быть использовано, например, при измерении больших гю г еличине (cBi.iiiie 1000 мм) ра- диугов кривизны высокочастотных осо- Гк) чист1,1х noHepxHocTeii оптических деталей.

Цель изобретения - измерение поверхностей с радиусом кривизны свыше 1000 мм.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали.

Устройство содержит автоколдима- пионный микроскоп 1, плоское зеркало 2 с отверстием и плоские зеркада 3 и Д, жестко связанные /фуг с другом, механизм 5 перемещения плоских зеркал 3 и 4, отсчетную шкалу 6 с индексом 7, который связан с зеркалами ч и 3 .

Устройство работает следующим образом.

Деталь 8 со сферической поверхностью, радиус которой надо измерить, при отсутствии зеркал 3 и 4 располагают на оптической оси автоколлимационного микроскопа 1, при этом совмещают фокус F-микроскопа 1 с центром С кривизны измеряемой поверхности. Совмещение точек F и С определяют по резкому автокодлимаци онному изображению сетки микроскопа 1. Затем устанавливают зеркала 3 и Зеркала смещают по направлению к а токодлимационному микроскопу 1 до совпадения точки F с поверхностью плоского зеркада 3.

При этом по шкале 6 с помощью индекса 7 снимают отсчет А о положении зеркал 3 и 4, Посде этого зеркала 3 и 4 смещают по направлению к д тади 8 до тех пор, пока излучение, последовательно отраженное от зерка 3 и 4, испытуемой поверхности детали 8 не сфокусируется на поверхност зеркада 4. При этом снимают отсчет AI. Положение, при котором излучени

Редактор О.Юрковецкая

Состави Техред Л

фокусируется на поверхности зеркал 3 и 4, опредедяют по резкому изображению сетки микроскопа 1. Величину измеряемого радиуса R определяют по формуле

I

1

а+г

л -1

(а+1)(а+л)

де а I А 2 -А , I Л разность отсчетов в положениях зеркал 3 и 4;

расстояние между отражающими поверхностями зеркал 3 и 4;

расстояние от точки F до поверхности зеркала 2.

При измерении радиуса кривизны поверхности детали приемлемая точность достигается при смещении зеркал 3 и 4 на величину о , не превышающую 300-400 мм, а диапазон измерений величин R большой.

Формула изобретения

Устройство для измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали, содержащее автоколлимационный микроскоп, механизм перемещения и отсчетную шкалу с индексом, отличающееся тем, .что, с целью измерения поверхностей с радиусом кривизны свыше 1000 мм, оно снабжено тремя плоскими зеркалами, установленными перпендикулярно оптической оси микроскопа, одно из которых имеет центральное отверстие и установлено перед фокальной плоскостью микроскопа, а два других зеркала за фокальной плоскостью микроскопа так, что обращены зеркальными поверхностями в противоположные стороны и жестко связаны друг с другом, а также с механизмом перемещения и индексом отсчетной шкалы.

Корректор М.Шароши

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, например, при измерении больших по величине радиусов кривизны вы5 / сокоточных особо чистых поверхностей оптических деталей. Цель изобретения - измерение поверхностей с большим по величине радиусом кривизны. Устройство содержит автоколлимационный микроскоп 1, механизм 5 перемещения, отсчетную шкалу 6 с индексом 7, три плоских зеркала 2, 3, 4, установленных перпендикулярно оптической оси микроскопа 1, одно из зеркал 2 с центральным отверстием установлено перед фокальной плоскостью микроскопа 1, а два других зеркала 3 и 4 установлены за фокальной плоскостью микроскопа 1, жестко связаны друг с другом, с механизмом 5 перемещения и индексом 7 отсчетной шкалы 6, а зеркальные поверхности зеркал 3 и 4 обращены во взаимно противоположные стороны. 1 ил. (Л со о 05 ел

Заказ 970/42

Тираж 680

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное