Способ гравирования элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрытиях Советский патент 1988 года по МПК B23Q15/00 

оо оо о ;о

о

00

Изобретение относ-ится к приборостроению, преимущественно к технологии и готов- ления кодирующих элементов типа мер перемещения, длины и угла, а также технологии изготовления топологических рисунков электроакустических преобразователей для акустоэлектронных устройств.

Цель изобретенияповьипение качества -равирования, исключение повреждений поверхности нодложки режущим инструментом в процессе гравирования за счет контроля спектра звуковых колебаний, возникающих в резцовом устройстве и;|и подложке в процессе гравировки, с последующим изменением си. 1Ы прижима резца к подложке.

На чертеже представлено устройство, реализующее способ.

Способ осуществляется следующим образом.

В процессе движения гравировального инструмента с режущей кромкой но тонкопленочному покрытию контролируется спектр механических колебаний, возникающих в гравировальном инструменте или подложке. Экспериментально определяются диапазон частот 1 |- 1 и инте1-ральная интенсивность спектра ме.хамических колебаний, возникающих в режиме г рави){)вания без разрушения подложки

В дальпо пцем и п)оцессе гравирор ания силу давления )сжу|цей кромки на подложку регу.1ирун)1 так, чтобы спектр ле- жа.л в об.часги частот fi fj, а ею интенсивность не В1)1х()ди,та за : ксперименталь- но установ.тенные пределы.

Х стройство. 1еализук)П1ее способ, содержит гравировальньп инстру.мент 1, режущая кромка 2 )ого .может двигаться в направлсн1ти ст)елки А. В исходном положении ()ежущая кромка вх(;дит в тонкоплепочное покрытие 3, нанесенное на под.тожку 4. На i равировальном инст|)у- менте 1 зак|Н 1. 1еп датчик 5 механических колебаний, электрически соединенный с входами ни:(кочас1отн| |х нолск овых фильт- )ов 6. .Х()ды фи.тьтров через переключатель 7 могут поочередно подключаться к вx(Jдy усилите.тн 8 мощности, выход которого соединен с индикатором 9 (например осци.т. юграфом) и через вынря.митель К) с катушкой 1 1 улекгромагдщта, последовательно с которой нк.тючен потенциометр 12.

Устройство )аботает следукпцим образом.

При движении i )авировального инстру- .мента I в наипав.чеиии А, в нем и подложке 4 возникают механические колеба0

5

0

5

0

5

0

5

0

НИИ, лежащие в диапазоне звуковых частот f|--f2. Эти колебания преобразуются датчиком 5 в электрические сигналы, поступающие на входы фильтров 6, перекрывающих диапазон частот fi-(2.

Переключателем 7 подключают усилитель 8 мощности к тому из фильтров, выходной сигнал которого имеет наиболь- щую величину. Потенциометром 12 подбирают ток через катущку 1 1 такой величины, чтобы режущая кромка 2 полностью снимала тонкопленочное покрытие 3 с подложки 4. По мере затупления режущей кромки 2 интенсивность сигнала на выходе усилителя 8 мощности уменьщается, так как резец перестает касаться подложки.

Полярность включения катущки 11 к выпрямителю 10 выбирают такой, чтобы при уменьшении тока через обмотку катущки 11 сила прижима гравировального инструмента к поверхности гравируемой подложки увеличивалась. Благодаря этому сила прижима гравировального инструмента 1 увеличивается только по мере затупления режущей кромки 2 и, тем самым, компенсирует уменьшение режущей снособности инструмента. Возможность повреждения подложки режугцей кромкой 2 при этом практически исключается, так как при их соприкосновении интенсивность сигнала на выходе усилителя 8 мощности возрастает, а прижим гравировального инструмента к подложке ослабляется.

Формула изобретения

Способ гравирования элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрытиях, нанесенных на твердые гтолирован- ные подложки, включающий механическое скрайбироваиие тонкоиленочных покрытий режущи.м инструментом, отличающийся тем, что, с целью повьппения качества за счет исключения новреждений поверхности подложки инструментом в процессе гравирования, производят контроль cneKtpa акустического сигнала, сопровождаюп;его механическое скрайбирование, определяют интервал частот и интенсивность сигнала, характеризующие режи.м скрайбирования без повреждения водложки, и в процессе скрайбирования осуществляют регулирование прижима режущего и}1струмента к поверхности гравируе.мой подложки обратно пропорционально интегральной интенсивности спектра на частотах, соответствующих акустическому сигна.ту, возникаюнхему в режиме скрайбирования без новрежде1щя подложки.

Т I

Г

Изобретение относится к приборостроению, нреимущиственно к технологии изготов.тения топо. югических рисунков s. iCK- троакустических нреоГфазователей акусто- электроиных устройств. Целью изобретения является повьппение качества изделия за счет устранения возможности повреждения подложки (стекло, керамика, монокрисгал,аы и т. д.) в процессе гравирования то- пологическг)го рисунка путем управления усилием нрижима инстру.меита. Способ гравирования основан на различии частот звуковы.х колебаний, вызванных резцом при механическо.м скрайбировании топологического рисунка, в различных режимах работы. В процессе гравирования осуществляют контроль спектра звуковых колебаний резца в области частот fi -fj, соответствующих режиму гравирования (скрайбирования) без повреждения подложки, т. е. когда резец касается поверхности подложки, но не повреждает ее. При увеличении интенсив- )1ости колебаний в диапазоне звуковых частот f - 1 снижают нагрузку на резец до ве.1ичины, при которой интенсивность звука но выходит за допустимые пределы, опреде- .iHOMbie экспериментально. Изменение на- на резец может производиться оператором или специальным устройством, псушествляющи.м контроль интегральной интенсивности спектра в заданном диапазоне частот и регулирующи.м нагрузку на резец обратно пропорционально интегральной интенсивности спектра. 1 ил. « (Л