Интерферометр для измерения линейных перемещений Советский патент 1988 года по МПК G01B9/02 

7v /

00

00 со

со

О5

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение чувствительности. Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из которых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани oVpaжaтeля 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основа- ние отражателя 6. После отражения от боковой грани которого поток направляют на основание отражателя 7. После отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6, последний из отраженных лучей потока направляют через срез 8 отражателя 7 на светоделитель 2, где он оборачивается на 90° и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделителя 2. 1 ил. i (Л

Л./

Изо.бретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации.

Цель изобретения - повышение чувствительности интерферометра.

На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2 для разделения излучения на два потока, в одном из потоков последовательно установлены два трехгранных уголковых отражателя 3 и 4, ориентированных основаниями навстречу друг к другу, вершина 5 отражателя 4 усечена плоскостью, параллельной основанию, в потоке излучения, проходящего через светоделитель 2, также два трехгранных уголковых отражателя 6 и 7, верщина 8 третьего отражателя 7 усечена плоскостью, параллельной основанию, и во втором потоке от светоделителя 2 - фотоприемник 9.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из которых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани отражателя 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (верщину) 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 на0

5

0

5

0

правляют на основание отражателя 6. После отражения от боковой грани отражателя 6 поток направляют на основание отражателя 7, а после отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (верщину) 8 отражателя 7 - на светоделитель 2, где он оборачивается на 90° и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделителя 2.

Формула изобретения

Интерферометр для измерения линейных перемещений, содержащий последовательно расположенные источник излучения и светоделитель для разделения излучения на два потока, последовательно установленные в одном из них два трехгранных уголковых отражателя, ориентированные основаниями навстречу друг другу, и верщина одного из которых усечена плоскостью, параллельной основанию, и установленный в другом потоке фотоприемник, отличающийся тем, что, с целью повыщения чувствительности, он снабжен третьим и четвертым трехгранными уголковыми отражателями, последовательно установленными в потоке излучения, проходящего через светоделитель, и ориентированными основаниями навстречу друг к другу, а верщина третьего отражателя усечена плоскостью, параллельной основанию.