Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта Советский патент 1986 года по МПК G01B9/02 

ю | ел to

о ел

Изобретение касается интерференционных измерений перемешений. Целью изобретения является повышение чувствительности путем устранения паразитных вибраций, приводящих к разъюстировке. Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 разделяется на два потока, один из которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на отражатель 4. Поток, отразившись от отражателя 4, попадает на отражатель 3, отразившись от которого, снова попадает на отражатель 3 и т. д. Так продапжается п раз, пока излучение не попадает на сечение отражателя 4, отразившись от которого излучение возвращается по тому же пути и попадает на светоделитель 2, пространственно совмещаясь с потоком, отраженным от отражающего покрытия светоделителя 2. Фотоприемник 5 воспринимает усредненную интенсивность интер$ ференционного поля, по которой определяют величину перемещения. 1 ил. (Л

Изобретение касается интерференционных измерений перемещений, в частности перемещений при вибрациях.

Цель изобретения - повьпиение чувствительности путем устранения паразитных вибраций, приводящих к разъюстировке.

На чертеже представлена схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2, два трехгранных уголковых отражателя 3 и 4, один из которых 4 установлен с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника 1, оба уголковых отражателя 3 и 4 смонтированы в другом потоке от светоделителя 2 диаметрально противоположно один другому, на отражателе 4 выполнено сечение с отражающим покрытием, параллельным основанию, фотоприемник 5, установленный в одном из потоков от светоделителя 2, который выполнен в виде куб-призмы на одну грань которой со стороны, противоположной источнику 1 излучения, нанесено отражающее покрытие.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника диагональной гранью светоделителя 2 разделяется на два потока, один из которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на отражатель 4.

Поток, отразившись от отражателя 4, попадает на отражатель 3, отраг ивщись от которого, снова попадает на отражатель 3

и т. д. Так продолжается 12 раз, пока излучение не попадет на сечение отражателя 4, отразившись от которого излучение возвращается по тому же пути и попадает на светоделитель 2, пространственно совмещаясь с потоком, отраженным от отражающего покрытия светоделителя 2.

Фотоприемник 5 воспринимает усредненную интенсивность интерферирующего поля, по которой определяют величину перемещения.

Формула изобретения

Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта, содержащий источник излучения, светоделитель, делящий падающее от источника излучение на два потока, два трехгранных уголковых отражателя, один из которых уст-ановлен с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника, и фотоприемник, установленный в одном из потоков от светоделителя, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, светоделитель выполнен в виде куб-призмы, на одну грань которой со стороны, противоположной источнику излучения, нанесено отражающее покрытие, оба уголковых отражателя смонтированы в другом потоке от светоделителя диаметрально противоположно один другому, а на установленном с возможностью перемещения отражателе со стороны верщины выполнено сечение с отражающим покрытием, параллельным основанию.