Известны способы бесконтактного измерения профиля полированных асферических поверхностей вращения по автоколлимационному или обычному отражению от них светового луча, однако с помощью таких способов невозможен контроль поверхностей с больщим относительным отверстием.
В описываемом способе для обеспечения контроля поверхностей с больщим относительным отверстием проектирующий объектив поворачивают относительно его фокальной точки.
На чертеже изображена схема устройства, предназначенного для осуществления способа.
Способ бесконтрольного измерения профиля полированных асферических поверхностей вращения состоит в том, что луч света от источника / через конденсор 2 и щель 5 попадает на зеркало 4, отразивщись, от которого, он проходит через объективы 5 и б и, вторично отразивщись от зеркала 7, дает в фокальной точке 8 полированной выпуклой поверхности 9, например гинерболоидной, изображение щели 5. Отраженное от поверхности изображение щели будет находиться в точке 10. При наличии на поверхности какого-либо дефекта отраженное изображение щели не попадет в точку 10, а окажется смещенным. Оценивая это смещение по щкале // при помощи окуляра 12, определяют величину дефекта. Зеркало 7 сделано полупрозрачным для того, чтобы исключить виньетирование отраженного пучка лучей.
При контролировании поверхностей с больщим относительным отверстием проектирующую оптическую систему поворачивают относительно фокальной точки 8, при этом поверхность, щкалу и окуляр оставляют неподвижными. В этом случае оценку поверхности получают суммированием результатов измерения отдельных ее участков. Возможно применение нескольких проектирующих оптических систем, при вращении которых ведут одновременное или последовательное изйерение нескольких параллельных сечений поверхности.
При измерении вогнутых полированных асферических поверхностей источник света или щель помещают непосредственно в фокальную точку поверхности, которая в данном случае будет действительной, а не мнимой, и вместо автоколлимационного отражения светового луча используют его действительное отражение.
Описываемый способ позволяет повысить производительность труда при контроле, создать предпосылки для его автоматизации и получать очень высокую точность измерений, достигающую 0,5-1,0 мк.
Предмет изобретения
Способ бесконтактного измерения профиля полированных асферических поверхностей вращения по автоколлимационному или обычному отражению от них светового луча, отличающийся тем, что, с целью обеспечения контроля поверхностей с больщим относительным отверстием, -проектирующий объектив поворачивают относительно его фокальной точки.
