Вакуумный прогреваемый затвор Советский патент 1988 года по МПК H01J5/02 

САЭ О

а

ьо

aniti

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для использования совместно с вакуумными средствами откачки в прогреваемом вакуумно технологическом оборудовании для производства и пооперационной диагностики изделий микроэлектроники, обработки изделий в сверхвысоком вакууме, в технике физического эксперимента

и ДРс,

Целью изобретения является уменьшение мощности, веса и габаритов электромеханизма привода тарели путем уменьшения усилия на шток при уплот- нении тарели относительно седла

На фиГо изображен затвор, разрез на фиго2 - разрез А-А на фиг с, 1 о

Вакуумный прогреваемый затво.р содержит корпус 1 с боковым патрубком 2 и седлом Зо Внутрь корпуса 1 встав- ; лена обойма 4 со шлицами 5 по наруя ;- :ной поверхности, которыми она входит в зацепление с выступами на внутрен ней поверхности кортг /са 1 „ В обойме 4 размещена тарель 6 затвора с метгш- лическим уплотнителем 7 Шток 8 связан с тарелью 6 посредством рычагов Рычаги одним торцом входят в соответствующие уступы обоймы, а другим контактируют с гранями выступа 10 : штока 8 Каждый из рычагов снабжен тремя роликоопорами 11, 12 и 13о С обоих торцов на обойме 4 установлены верхнее 14 и нижнее 15 опорные коль- цао В нижнем опорном кольце 15 размещены пружины 16о Б выточке корпуса 1 размещено поворотное кольцо 17 с выступами, аналогичными выступам в корпусе 1 о Поворотное кольцо мо- жет поворачиваться на некоторый угол за счет того, что оно шарнирно связано с тягой 18 электромагнитного привода, которая имеет фиксирующее устройство для установки поворотного кольца 17 в двух положениях Шток 8 привода тарели с одного конца помимо граненого выступа 10 имеет выступ 19 площадка которого контактирует с роликоопорами 11 рычагов 9 о Роликоопорами 13 рычаги 9 контактируют с плоскостью тарели 6, противоположной по отношению к металлическому уплотнителю 7о В граненом выступе 10 штока 8 выполнена резьба для опорного винта 20, который необходим для связывания штока с рычагами 9 в осевом направлении Шток 8 имеет ходовую резьбу, которой он ввинчивается

5

0 5 ,, 0с Q 5

0

5

в ходовую гайку 21, смонтированную на заглушке 22, Гайка 21 приводится во вращение электромеханизмом (электродвигатель с редуктором) 23, при этом вращение из атмосферы в вакуум передается через высоковакуумный прогреваемый ввод 24 вращения с сильфонным уплотнениемо

Вакуумньй прогреваемый затвор работает следующим образом

При закрывании затвора электромеханизм 23 передает крутящий момент через ввод 24 вращения ходовой гайке 21, при этом шток 8 получает поступательное перемещение (шток 8 не может вращаться, так как обойма 4 связана 0шицами с корпусом 1, а шток 8 связан через граненый выступ 10 и рычаги 9 с обоймой)с При своем перемещении шток 8 перемещает обойму 4 вместе с тарелью 6 по направлению к седлу 3, Поворотное кольцо 17 не препятствует этому перемещению, так как выступы, выполненные на его внутренней поверхности, совпадают с выступами корпуса 1 о После того как металлический уплотнитель 7 тарели 6 придет -в соприкосновение с седлом 3, включается электромагнитный привод, который через тяги 18 поворачивает кольцо 17 на такой угол, при котором выступы кольца 17 оказьшаются напротив пазов обоймы 4 и выступов корпуса 1 о При дальнейшем движении штока 8 выступ 19 штока своей площадкой давит на ррликоопоры 11 рычагов 9, Каждый из рычагов 9, действуя как рычаг 11-го рода, через роликоопоры 13 передает усилие тарели 6„ Выбирая из конструктивных соображений длины плеч у рычагов 9 (расстояние между роликоопорами рычагов в радиальном направлении), можно получить выигрьш в силе примерно в 20 раз и более, тем самым во столько же раз уменьшить усилие на шток 8 о При этом обойма 4 удерживается поворотным кольцом 17 от перемещения в вертикальном направлении под воздейст-. вием со стороны роликоопор 12 рычагов 9о

При открывании затвора электромеханизм 23 приводит в движение шток 8 в обратном направлении и, воздействуя через опорный винт 20 на рычаги 9, снимает с них усилие о После этого включается электромагнитный привод, тяга 18 которого поворачивает поворотное кольцо 17 на уголу при котором выступы кольца 17 совпадают с выступами в корпусе I и пазами в обойме АО При дальнейшем движении што ка 8 через опорный винт 20 и рычаги 9 приходит в движение обойма 4 вместе с заключенной в ней тарелью бе

Формула изобретения

I, Вакуумный прогреваемый затвор, содержащий корпус с боковым патрубком и седлом, тарель с металлическим уплотнителем, соединенную с редзпстором и электроприводом через шток, отличающийся тем, что, с целью уменьшения массы, габаритов и энергопотребления за счет снижения усилия герметизации, в него введены обойма со шлицами на внешней боковой поверхности, выполненными с возможностью взаимодействия с выступами, которыми снабжены внутренние поверхности корпуса и поворотного кольца, расположенного в проточке корпуса и шарнирно связанного с дополнительным электроприводом, снабженным фиксатором поворотного кольца, верхнее и нижнее опорные кольца, между которыми в обойме последовательно расположены тарели и рычаги, соединенные с граненым выступом, выполненным в нижней части штока, каждый из которых снабжен тремя роликоопорами, расположенными соответственно между тарелью и рычагами, между рычагами и обоймой и между рычагами и торцовой поверхностью щтока, верхняя часть которого соединена с передачей преобразования вращательного движения электропривода в поступательное движение штока

2, Затвор попо1, отличающийся, тем, что передача выполнена в виде резьбовой пары

Фиг. 2

Изобретение может быть использовано в прогреваемом вакуумно-тех- нологическом оборудовании Цель изобретения - уменьшение мощности, массы и габаритов элект.ромеханизма привода тарелио При своем перемещении шток 8 перемещает обойму 4 с тарелью 6 до соприкосновения металлического уплотнения 7 с седлом 3, Кольцо 17 поворачивается, и его выступы оказываются напротив обоймы 4 и выступов корпуса 1, При дальнейшем движении штока 8 выступ 19 своей площадкой давит на роликоопоры 11 рычагов 9 Последние передают усилие тарели 6, Выбирая длины плеч у рычагов 9, можно получить выигрыш в силе v в 20 раз и соответственно уменьшить усилие на шток 8о При этом обойма 4 удерживается кольцом 17 от перемещения в вертикальном направлении под воздействием со стороны роликоопор 12 рычагов 9, 1 3 о П о ф-ЛЫ , 2 ил а 5 (Л