Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре Советский патент 1988 года по МПК G01B9/02 

i

С/

С

Изобретение относится к измерительной Технике и может быть использовано в устройствах для регистрации быстропротекаю- |дих процессов, например ультразвуковых Колебаний, сигналов акустической эмиссии, ударных волн.

I Целью изобретения является новышение фостранственного разрешения и виброустой- нивости устройства, достигаемое благодаря Снабжению устройства собирающей линзой, Остановленной между зеркалом н системой от- ражателей так, что зеркало лежит в фо- | альной плоскости линзы.

На фиг. 1 представлена схема интер- рерометра с устройством; на фиг. 2 - схе- via регулировки кратности числа отраже- в устройстве.

Интерферометр содержит источник 1 мо- -юхроматического излучения, например ге- 1ий-11еоновый лазер, светоделитель 2, уст- )ойство 3 многократных отражений, содер- кащее линзу 4, два уголковых отража- еля 5 и 6 и зеркало 7, связанное с контролируемым объектом 8, уголковый от- )ажатель 9, фотоприемник 10 и блок 11 ре- истрации его выходного сигнала.

Излучение источника делится светодели- е.лем на 2 пучка, один из которых падает на Уголковый отражатель 9, а другой - на линзу 4. Прошедший линзу луч отражается от зеркала 7 и после вторичного прохождения линзы 4 возвращается уголковым отражателем 5 на зеркало 7. После повтор: ного отражения уголковым отражателем 6 tiy40K третий раз отражается от зеркала 7 Н попадает на светоделитель 2, где совме- цается с опорным сигналом и образует на ходе фотоприемника 10 интерференционную картину, которая фиксируется блоком 11 регистрации.

Изобретение позволяет пространственное разрешение устройства, сюсколь КУ отражение всех лучей происходит от не

5

5 0

0

5

большого участка поверхности зеркала 7. Одновременно повышается виброустойчивость устройства за счет того, что все лучи, отражаемые зеркалом 7, после прохождения линзы 4 оказываются параллельными ее оптической оси, благодаря чему уменьшается вероятность ухода интерферирующих лучей за пределы чувствительной площадки фотоприемника.

При установке одного из уголковых отражателей с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оптической .линзы (фиг. 2), появляется возможность изменять количество отражений в устройстве. Например, при перемещении уголкового отражателя 5 в положение Б количество отражений равно двум, а в положении В - шести. При этом изменяется и чувствительность устройства.

Формула изобретения

1.Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре при контроле, содержащее зеркало, устанавливаемое на контролируемом объекте на пути пучка измерительной ветви интерферометра, и систему отражателей, расположенных последовательно по ходу пучков, отражаемых зеркалом, отличающееся- тем, что, с целью повышения пространственного разрешения и виброустойчивости, устройство снабжено собирающей линзой, установленной между зеркалом и системой отражателей так, что зеркало лежит в фокальной плоскости линзы, а отражатели выполнены уголковыми и расположены в пределах светового отверстия линзы.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что один из уголковых отражателей системы установлен с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оптической оси линзы.

к

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в устройствах для регистрации быстропротекающи.х процессов. Цель изобретения - повышение пространственного разрешения и виброустойчивости устройства, достигаемое благодаря снабжению устройства собирающей линзой, установленной между зеркалом и системой отражателей так, что зеркало лежит в фокальной плоскости линзы. В измерительной ветви интерферометра между светоделителем 2 и плоским зеркалом 7, связанным с контролируемым объектом, установлены собирающая линза 4 и система уголковых отражателей 5, 6. Измерительный пучок после- дов.ательно отражается всеми уголковыми отражателями системы, а затем возвращается к уголковому отражателю. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

-Ь1/г.2

СоставительМ. Семчуков

Техред И. ВересКорректор М. Максимншииец

Тираж 680Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж -35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор М. Бандура Заказ 2325/44