Вакуумная ловушка Советский патент 1988 года по МПК F04F9/06 

J. S.

г

л.

,5 -8

о to

«

Ю

Изобретение относится к вакуумной технике и м.б. использовано в устройствах для защиты откачиваемого объема от паров масла, продуктов его разложения, паров воды и т.д. Цель изобретения - повышение защитных свойств ловушки. В сосуде 1 Дью- ара по его оси расположен цилиндрический вакуум-провод 2. Три охлаждаемые диафрагмы 3-5, размещенные по его оси и имеющие соосные отверстия 6-8, выполнены из газопроницаемого материала и расположены друг от друга на расстояниях, описываемых определенной зависимостью. Откачка объекта производится через отверстия 6-8. Выполнение диафрагм газопроницаемыми позволяет увеличить проводимость ловушки при сохранении высоких защитных свойств. 1 ил. 7 &

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в устройствах для защиты откачиваемого объема от паров масла, продуктов его разложения, паров вода и т.д.

Целью изобретения является повышение защитных свойств ловушки.

На чертеже изображена вакуумная ловушка, продольный разрез.

Вакуумная ловущка содержит сосуд 1 Дьюара и расположенный в нем по оси цилиндрический вакуумпровод 2, причем ловушка снабжена размещенными :в вакуумпроводе по его оси тремя ох- лаждаемыми диафрагмами 3-5, имеющими ;соосные отверстия 6-8, выполненными 1ИЗ газопроницаемого материала и рас- : положенными одна от другой на рассто :HHHXs, описываемых следзпощей зависи

:МОСТЫО

е L ,

2L

- 1 г

LI

п,

R + г

расстояние между первой и второй по ходу откачиваемого газа диафрагмами;

L

R + г

R

п

расстояние между второй и третьей диафрагмамиi длина вакуум-провода;

внутренний радиус вакуум-провода; рад1гус отверстий ди афрагм

дробное число, боль ше двух.

: Вакуумная ловушка работает следую образом.

В сосуд 1 Дыоара заливают хлад- 4гент, после чего включают вакуумную откачку объекта. Откачка объекта (на Чертеже не показан) производится через отверстия 6-8 диафрагм 3-5 соот- ветственно.

Пары масла и продукты его разложения из фор вакуумного насоса (на чертеже не показан) или пары воды, про-

fO

J5

20

25

30

шедшие через отверстие 6 диафрагмы 3, попадают на стенки вакуум-провода 2 и диафрагму А. В случае отражения молекул от стенок вакуум-провода 2 и прохождения их через отверстие 7 диафрагмы 4 они осаждаются на стенках вакуум-провода 2 в объеме, заключенном между диафрагмами 4 и 5, и диафрагме 5, так как отношение расстояний между диафрагмами 3-4 и 4-5 равно дробному числу, которое больше двух.

толнение диафрагм газопроницаемыми позволяет увеличить проводимость ловушки при сохранении высоких защитных свойств.

Формула изобретения

Вакуумная ловушка, содержащая сосуд Дьюара и расположенный в нем по оси цилиндрический вакуум-провод, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитных свойств, ло- взгшка снабжена размещенными в вакуум- проводе по его оси тремя охлаждаемыми диафрагмами, имеющими соосные отверстия, выполненными из газопроницаемого материала и расположенными одна от другой на расстояниях, описываемых следующей зависимостью

де LI 7

2 R

R

n

1 J L п

-расстояние между первой и второй по ходу откачиваемого газа диафрагмами.-,

-расстояние между второй и третьей диафрагмами-,

-длина вакуум-провода-,

-внутренний радиус вакуум-провода j

-радиус отверстий диафрагм;

дробное число, больше двух.