Вакуумная ловушка Советский патент 1989 года по МПК F04B37/02 F04F9/06 

сд

ю

00

|

15

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям защитных устройств, предотвращающих попадание паров рабочих жидкостей вакуумных насосов в откачиваемые объемы

Цель изобретения - повышение защитных свойств ловушки.

На чертеже представлена схема ловушки, размещенной в вакуумной системе.

Вакуумная ловушка содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками и расположенный в корпусе 1 улавлива- |ющий элемент в виде замкнутого сосуда А с пористыми газопроницаемыми стенка ми, внутренняя полость которого сообщена с выходным патрубком 3 через тепловой мост 5, причем сосуд k выпол .нен из геттерного материала, например титана, и снабжен нагревателем 6, размещенным в его стенках.

Кроме того, внутренний диаметр сосуда t превышает внутренний диаметр теплового моста 5 в 1,5-5 раз. Ловушка размещена в вакуумной системе и подключена к паромасляному 7 и механическому 8 насосам через вентиль 9.

Ловушка работает следующим образом

Предварительное вакуумирование от- качиваемого объема осуществляется механическим насосом 8 через газопроницаемые стенки сосуда k. При достижении в откачиваемом объеме давления 1-10 Па включается нагреватель 6 ив течение минимального времени (5 - 10 мин) температура стенок сосуда k доводится до рабочей (600-750 С). Быстрый разогрев сосуда осуществляется для обеспечения гарантии отсутст- ,вия паров рабочей жидкости насосов в пористых стенках, поскольку при более медленном разогреве пары начинают проникать в откачиваемый объем ввиду отсутствия крекинга, имеющего место

0

5 о

5

Q ..5

при рабочей температуре. При этой температуре пористый геттерный материал сосуда k не Голько эффективно разлагает пары масел и других углеводородов, но также обладает высокой скоростью сорбции всех химически активных газов, т.е. практически работает как эффективный сорбционный насос, быстрота действия которого может превышать быстроту действия паро- масляного насЬса. Нагреватель 6 играет также роль армирующего элемента для стенок сосуда k,

Для уменьшения примерно на два порядка скорости поступления паров масла из насоса в ловушку размерные соотношения определяются из условия соизмеримости пропускных способностей пористых стенок сосуда и теплового моста 5: внутренний диаметр сосуда должен превышать внутренний диаметр kтеплового моста 5 в 1,5 - 5 раз.

Таким образом, конструкция вакуумной ловушки позволяет повысить ее защитные свойства.

Формула изобретения

1.Вакуумная ловушка, содержащая корпус с входным и выходным патрубками и расположенный в корпусе улавливающий элемент в виде замкнутого сосуда с пористыми газопроницаемыми стенками, внутренняя полость которого сообщена с выходным патрубком через тепловой мост, отличающая- с я тем, что, с целью повышения защитных свойств, сосуд выполнен из геттерного материала и снабжен нагревателем, размещенным в его стенках.

2.Ловушка поп.1,отличаю- щ а я с я тем, что внутренний диаметр сосуда превышает внутренний диаметр теплового моста в 1,5-5,0 раз.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства ловушки. Сосуд 4, имеющий пористые газопроницаемые стенки и выполненный из геттерного материала, например, титана, нагревается расположенным в стенках нагревателем 6. При нагреве до 600-750°С происходит разложение /крекинг/ углеводородов, а также эффективная откачка газов из вакуумируемого объема. Внутренний диаметр сосуда 4 превышает диаметр теплового моста 5 в 1,5-5,0 раз. Это не исключает замасливание ловушки при выключении откачки, даже если масляные насосы остаются под вакуумом и гарантируется чистота вакуума при последующих циклах эксплуатации вакуумной системы. 1 з.п.ф-лы. 1 ил.